[实用新型]一种脉冲激光多光束多靶材共沉积装置

权利要求书

1.一种脉冲激光多光束多靶材共沉积装置，其特征在于，包括：设置于真空室内的激光发射器、激光控制器、不同位置的多个靶材及基板；其中，所述激光发射器发射指定强度的激光射线，所述激光控制器接收所述激光射线，并控制所述激光射线在指定时刻聚焦投射到指定的所述靶材上，以使靶材的原子溅射到所述基板上。

2.根据权利要求1所述的脉冲激光多光束多靶材共沉积装置，其特征在于，所述激光控制器包括第一反射镜、驱动器及与靶材数量相等的设置于指定位置的第二反射镜，所述激光发射器以指定角度向所述第一反射镜发射激光射线，所述驱动器连接所述第一反射镜，用以控制改变所述第一反射镜的位置，并使所述激光射线经所述第一反射镜反射射出后分时投射到不同的所述第二反射镜上，所述激光射线经不同的第二反射镜反射射出后聚焦投射到不同位置的靶材上。

3.根据权利要求1所述的脉冲激光多光束多靶材共沉积装置，其特征在于，所述激光控制器包括第一反射镜、第二反射镜及驱动器，所述激光发射器以指定角度向所述第一反射镜发射激光射线，所述激光射线经所述第一反射镜反射射出后所述第二反射镜上，所述驱动器连接所述第二反射镜，用以驱动改变所述第二反射镜的位置，并使激光射线从所述第二反射镜反射射出后，分时的投射到不同位置的靶材上。

4.根据权利要求3所述的脉冲激光多光束多靶材共沉积装置，其特征在于，所述驱动器控制所述第二反射镜移动的方式为沿所述第一反射镜反射射出的光路方向；或者设置与靶材数量相等的第二反射镜，所述驱动器控制所述多个第二反射镜以一中心转动，以使所述激光射线经所述第二反射镜其中一者反射后，分时的投射到对应的一个靶材上，所述驱动器控制多个第二反射镜移动的方式包括控制第二反射镜平移及控制第二反射镜转动。

5.根据权利要求1所述的脉冲激光多光束多靶材共沉积装置，其特征在于，所述激光控制器包括第一反射镜、第二反射镜及驱动器，所述激光发射器以指定角度向所述第一反射镜发射激光射线，所述激光射线经所述第一反射镜反射射出后所述第二反射镜上，所述驱动器连接所述多个靶材，用以控制移动所述靶材的位置，以使所述激光射线分时的投射到不同位置的靶材上。

6.根据权利要求5所述的脉冲激光多光束多靶材共沉积装置，其特征在于，所述激光控制器还所述包括一聚光镜，所述聚光镜设置于所述第二反射镜和所述靶材之间，所述第二反射镜反射的激光射线经所述聚光镜汇聚后投射到靶材上。

7.根据权利要求6所述的脉冲激光多光束多靶材共沉积装置，其特征在于，所述激光控制器包括第一反射镜、第二反射镜、聚光镜及驱动器，所述激光发射器以指定角度向所述第一反射镜发射激光射线，所述激光射线经所述第一反射镜反射射出后所述第二反射镜上，经第二反射镜反射后投射到聚光镜，所述驱动器连接所述聚光镜，用以控制所述聚光镜移动，或者通过一转盘控制所述聚光镜转动至指定角度，以使所述激光射线分时的投射到不同的靶材上。

8.根据权利要求6所述的脉冲激光多光束多靶材共沉积装置，其特征在于，所述激光控制器包括第一反射镜、第二反射镜、聚光镜及驱动器，所述驱动器连接所述第一反射镜，用以控制所述第一反射镜以一中心点进行转动，通过转动不同角度，以使激光射线从第一反射镜反射射出后投射到不同的第二反射镜，再由不同的第二反射镜反射后，经聚光镜汇聚，分时的投射到不同的靶材上。

9.根据权利要求8所述的脉冲激光多光束多靶材共沉积装置，其特征在于，所述驱动器连接所述第二反射镜，用以控制所述第二反射镜以一中心点进行转动，使激光射线经第二反射镜反射，经聚光镜汇聚后，分时的投射到不同位置的靶材上。

10.根据权利要求6所述的脉冲激光多光束多靶材共沉积装置，其特征在于，所述激光控制器包括第一反射镜、第二反射镜、聚光镜及驱动器，所述驱动器连接所述靶材和所述基板，用以控制所述靶材和基板以相同的速度同时转动，当激光射线从激光发射器发射，经第一反射镜、第二反射镜的反射及聚光镜的汇聚后，分时的投射到每一靶材上。