[实用新型]一种真空吸笔

说明书

本实用新型是一种真空吸笔，其结构包括真空吸头、真空吸头多角度调节机构和真空检测系统，所述真空吸头多角度调节机构包括A真空金属细管、B真空金属细管、橡胶软管、固定金属管、螺丝、旋转导轨；真空检测系统包括真空指示灯、微型电源和真空检测传感器，真空指示灯、微型电源和真空检测传感器串联连接。优点：1、真空吸头多角度调节机构可以调节旋转固定，满足各种设备及人工搬运的需求。2.真空吸笔的真空检测系统，可避免因为真空管堵塞或者开关损坏造成的晶片报废。

技术领域

本实用新型涉及一种真空吸笔，属于晶片吸取技术领域。

背景技术

半导体制造业里，工艺制程必须要防污防尘，但在加工和产品流转时难免会接触或者手工搬运晶片，特别是在某些化合物工艺制程中，由于自动化程度较低，手动接触晶片的概率会大大增加。由于砷化镓、氮化镓的成本相对于硅片要高很多，所以不仅要保证防污防尘，更重要的是要保证晶片的安全。

实用新型内容

本实用新型提出了一种真空吸笔，旨在提供一种真空吸头可调节旋转固定、同时防止晶片破损的真空吸笔。

本实用新型的技术方案：

一种真空吸笔，其结构包括真空吸头9和真空吸头多角度调节机构，所述真空吸头多角度调节机构包括A真空金属细管10、B真空金属细管18、橡胶软管11、固定金属管12、螺丝13、旋转导轨14；其中，真空吸头9与A真空金属细管10的A端连接，A真空金属细管10的B端通过橡胶软管11与B真空金属细管18的A端连接，固定金属管12的A端与A真空金属细管10连接，B端设有螺丝13，固定金属管12的B端可沿着导轨14调节角度并通过螺丝13固定，导轨14与 B真空金属细管18连接；所述B真空金属细管18的B端设有内螺纹链接接头15。

本实用新型的有益效果：

1、真空吸头多角度调节机构可以调节旋转固定，满足各种设备及人工搬运的需求。

2.真空吸笔的真空检测系统，可避免因为真空管堵塞或者开关损坏造成的晶片报废。

附图说明

图1是一种真空吸笔的部分主视图。

图2是一种真空吸笔的多角度调节机构。

图3是一种真空吸笔的真空检测系统示意图。

图中1是真空开关；2是真空指示灯；3是真空开关前端真空管路；4是分支管路；5是真空检测系统；6是真空开关后端真空管路；7是真空软管；8是真空吸头连接螺纹；9是真空吸头；10是真空金属细管；11是橡胶软管连接；12是固定金属管；13是锁紧螺丝；14是旋转导轨；15是内螺纹链接接头；16是微型电源；17是真空传感器；18是真空金属细管。

具体实施方式

一种真空吸笔，其结构包括真空吸头9和真空吸头多角度调节机构，所述真空吸头多角度调节机构包括A真空金属细管10、B真空金属细管18、橡胶软管11、固定金属管12、螺丝13、旋转导轨14；其中，真空吸头9与A真空金属细管10的A端连接，A真空金属细管10的B端通过橡胶软管11与B真空金属细管18的A端连接，固定金属管12的A端与A真空金属细管10连接，B端设有螺丝13，固定金属管12的B端可沿着导轨14调节角度并通过螺丝13固定，导轨14与 B真空金属细管18连接；所述B真空金属细管18的B端设有内螺纹链接接头15。

所述导轨14有两条，所述螺丝13有两个。