[实用新型]一种集成电路无氧真空储存箱设备

权利要求书

1.一种集成电路无氧真空储存箱设备，包括外壳（1），其特征在于：所述外壳（1）内部设有第一工作室（2）与第二工作室（3），所述第二工作室（3）设于第一工作室（2）一侧，所述第一工作室（2）内部设有多个存储内胆（4），多个所述存储内胆（4）一侧均设有密封门（5）以及另一侧均设有第一连接管（6）与第二连接管（7），所述第二连接管（7）设于第一连接管（6）底部，所述第一连接管（6）与第二连接管（7）底部均设有密闭电磁阀（8），多个所述存储内胆（4）外侧均设有肋片（9）以及底部设有搁板（10），所述第一工作室（2）内侧设有绝对压力变送器（23），所述第二工作室（3）内部设有真空泵（11），所述真空泵（11）一侧设有数字式电阻真空计（12），所述数字式电阻真空计（12）一侧设有第一氧气含量分析仪（13），所述第一氧气含量分析仪（13）一侧设有第二氧气含量分析仪（14），所述第二氧气含量分析仪（14）一侧设有第三氧气含量分析仪（15），所述第三氧气含量分析仪（15）一侧设有氮气接入管（16），所述氮气接入管（16）上设有氮气接入阀（17），所述外壳（1）侧面设有控制柜（18），所述控制柜（18）内部设有触摸屏（19），所述触摸屏（19）底部设有PLC控制器（20），所述外壳（1）底部设有水平支撑架（21），所述水平支撑架（21）底部设有移动脚轮（22）。

2.根据权利要求1所述的一种集成电路无氧真空储存箱设备，其特征在于：所述外壳（1）侧面设有门，所述门与外壳（1）之间、密封门（5）与存储内胆（4）之间均设有硅橡胶密封条，所述硅橡胶密封条内部设有压力传感器，所述压力传感器型号设置为LPS25HBTR。

3.根据权利要求1所述的一种集成电路无氧真空储存箱设备，其特征在于：所述存储内胆（4）由SUS3304拉丝不锈钢板制成，所述存储内胆（4）内表面经过磨光处理，所述密封门（5）上设有矩形观察窗，所述矩形观察窗由钢化玻璃材料制成。

4.根据权利要求1所述的一种集成电路无氧真空储存箱设备，其特征在于：所述第一工作室（2）和第二连接管（7）均通过管道与真空泵（11）连接。

5.根据权利要求1所述的一种集成电路无氧真空储存箱设备，其特征在于：所述PLC控制器（20）型号设置为FX-30-48RM，所述第一氧气含量分析仪（13）、第二氧气含量分析仪（14）和第三氧气含量分析仪（15）型号均设置为GAXT-X，所述数字式电阻真空计（12）型号设置为CVM-211，所述绝对压力变送器（23）型号设置为SC3051AP。

6.根据权利要求1所述的一种集成电路无氧真空储存箱设备，其特征在于：所述数字式电阻真空计（12）、第一氧气含量分析仪（13）、第二氧气含量分析仪（14）、第三氧气含量分析仪（15）、绝对压力变送器（23）和触摸屏（19）均与PLC控制器（20）电性连接。