[实用新型]一种OLED蒸镀坩埚

说明书

本实用新型涉及OLED蒸镀技术领域，具体公开了一种OLED蒸镀坩埚，包括坩埚主体和与之扣合的盖板，在坩埚主体和盖板上设有气密性的密封结构，本实用新型的密封结构包括设在盖板上的盖板凹槽和设置在坩埚主体上且与盖板凹槽相对应的主体凸起，通过改善坩埚盖板和坩埚主体的咬合方式，提高坩埚的气密性，解决蒸镀时坩埚内有机材料蒸气泄漏问题。

技术领域

本实用新型涉及OLED蒸镀技术领域，尤其涉及一种OLED蒸镀坩埚。

背景技术

随着AMOLED的飞速发展，所蒸镀的基板尺寸越来越大，蒸发源由最初的点源发展到目前的线源，而坩埚是线源重要组成部件之一，材料在坩埚中被加热蒸发并形成一定的蒸气压，再通过Nozzle孔以一定的速率蒸镀到玻璃基板上，所以坩埚的密封性是坩埚性能的一个重要体现。然而在实际蒸镀生产技术中，由于坩埚盖板和坩埚主体存在缝隙，气密性较差，有机材料蒸气通过缝隙扩散到蒸发源外围，下次如果使用其它材料，这些附着在蒸发源上的材料可能会蒸发出来，造成材料的交叉污染，影响产品性能。

实用新型内容

针对上述技术问题，本实用新型提供了一种提高坩埚的气密性，解决蒸镀时坩埚内有机材料蒸汽泄漏问题的OLED蒸镀坩埚。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供的具体方案如下：一种OLED蒸镀坩埚，包括坩埚主体和与之扣合的盖板，在坩埚主体和盖板上设有气密性的密封结构。

优选的，所述的密封结构包括设在盖板上的盖板凹槽和设置在坩埚主体上且与盖板凹槽相对应的主体凸起，盖板凹槽与主体凸起相配合，使得坩埚主体与盖板之间的气密效果好。

优选的，所述的密封结构包括设在盖板上的盖板凸起和设置在坩埚主体上且与盖板凸起相对应的主体凹槽，盖板凸起与主体凹槽相配合，使得坩埚主体与盖板之间的气密效果好。

优选的，所述的密封结构包括设在盖板上的盖板螺丝孔和设置在坩埚主体上且与盖板螺丝孔相对应的主体螺丝孔，所述盖板螺丝孔和主体螺丝孔内穿设有螺丝，起到很好的气密效果，有效防止有机材料蒸汽泄漏。

优选的，所述坩埚主体为长方体结构，所述盖板为长方形板，该结构有利于有机材料的蒸发。

优选的，所述密封结构还包括设置在主体凸起上的密封条，起到更好的气密效果。

优选的，所述密封结构还包括设置在盖板凸起上的密封条，起到更好的气密效果。

优选的，所述盖板上设有喷嘴，喷嘴的数量为至少两个，且喷嘴与喷嘴之间为等间距排列，起到更加均匀的蒸镀效果。

进一步优选的，所述盖板上设有把手，便于取下盖板。

进一步优选的，所述坩埚主体包括相互结合的内壁和外壁，所述内壁的导热率大于外壁的导热率，可以保证热量快速的被传递，使得与内壁接触的蒸镀材料可以被均匀的蒸发。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于：本实用新型通过在坩埚主体和盖板上设置气密性的密封结构，该密封结构包括设在盖板上的盖板凹槽和设置在坩埚主体上且与盖板凹槽相对应的主体凸起；或是包括设在盖板上的盖板凸起和设置在坩埚主体上且与盖板凸起相对应的主体凹槽；或是包括设在盖板上的盖板螺丝孔和设置在坩埚主体上且与盖板螺丝孔相对应的主体螺丝孔，所述盖板螺丝孔和主体螺丝孔内穿设有螺丝；本实用新型通过上述方式改善坩埚盖板和坩埚主体的咬合方式，提高坩埚的气密性，解决蒸镀时坩埚内有机材料蒸气泄漏问题，起到很好的气密效果；且坩埚主体包括相互结合的内壁和外壁，内壁的导热率大于外壁的导热率，可以保证热量快速的被传递，使得与内壁接触的蒸镀材料可以被均匀的蒸发。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构示意图；

图2为本实用新型坩埚主体结构示意图；

图3为本实用新型盖板结构示意图；