[实用新型]一种炉管机台有效
| 申请号： | 201721592271.6 | 申请日： | 2017-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN207489820U | 公开（公告）日： | 2018-06-12 |
| 发明（设计）人： | 张瑜;魏巍;俞玮 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 严罗一 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 炉管加热器 炉管机台 烟雾感应器 本实用新型 报警器 外侧面 柱形腔 可编程逻辑控制器 发送信号 减少设备 温度异常 圆形顶部 反应腔 上半部 下半部 烟尘量 烟雾 察觉 报警 检测 | ||
【权利要求书】：
1.一种炉管机台，其特征在于：包括上半部的炉管加热器(1)和下半部的反应腔(2)；所述炉管加热器(1)内设置有带圆形顶部的柱形腔(11)；所述柱形腔(11)的外侧面设置有烟雾感应器(12)，所述烟雾感应器(12)与报警器(3)连接。
2.根据权利要求1所述的炉管机台，其特征在于：还包括可编程逻辑控制器(4)，所述可编程逻辑控制器(4)分别与烟雾感应器(12)和报警器(3)连接。
3.根据权利要求1或2所述的炉管机台，其特征在于：所述炉管加热器(1)为石英加热管。
4.根据权利要求1或2所述的炉管机台，其特征在于：所述反应腔(2)底部侧面设置有进气口(21)。
5.根据权利要求4所述的炉管机台，其特征在于：所述进气口(21)设置有特气阀(22)。
6.根据权利要求5所述的炉管机台，其特征在于：所述特气阀(22)为波纹管式特气阀。
7.根据权利要求5所述的炉管机台，其特征在于：所述特气阀(22)为膜片式特气阀。
8.根据权利要求7所述的炉管机台，其特征在于：所述特气阀(22)为金属膜片式特气阀。
9.根据权利要求2所述的炉管机台，其特征在于：所述可编程逻辑控制器(4)和报警器(3)均设置在炉管机台外部。
10.根据权利要求1或2所述的炉管机台，其特征在于：所述反应腔(2)内设置有石英舟(5)。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
