[实用新型]一种电感耦合等离子体质谱仪低真空的接口有效
| 申请号： | 201721594867.X | 申请日： | 2017-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN207474414U | 公开（公告）日： | 2018-06-08 |
| 发明（设计）人： | 孙克强;丁志国;陈万锁;江波;山拓 | 申请（专利权）人： | 江苏衡昇仪器有限公司 |
| 主分类号： | H01J49/26 | 分类号： | H01J49/26;H01J49/02;G01N27/62 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 225300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 低真空 电感耦合等离子体质谱仪 密封圈 点火腔体 点火腔 体内腔 本实用新型 低真空腔体 便于安装 滑轨平台 正常气压 水冷盘 气缸 密封效果好 顶部设置 接口密封 转换 内腔 维护 | ||
【权利要求书】：
1.一种电感耦合等离子体质谱仪低真空的接口，包括点火腔体（1），其特征在于：所述点火腔体（1）内腔的后侧固定连接有第一密封圈（2）和第二密封圈（3），所述点火腔体（1）内腔的底部分别固定连接有滑轨平台（4）和气缸（5），所述点火腔体（1）内腔后侧的顶部设置有低真空腔体（7），所述点火腔体（1）的内腔设置有水冷盘（6）。
2.根据权利要求1所述的一种电感耦合等离子体质谱仪低真空的接口，其特征在于：所述第一密封圈（2）位于第二密封圈（3）的顶部。
3.根据权利要求1所述的一种电感耦合等离子体质谱仪低真空的接口，其特征在于：所述气缸（5）位于滑轨平台（4）的前侧。
4.根据权利要求1所述的一种电感耦合等离子体质谱仪低真空的接口，其特征在于：所述水冷盘（6）后侧的顶部与低真空腔体（7）的前侧固定连接。
5.根据权利要求1所述的一种电感耦合等离子体质谱仪低真空的接口，其特征在于：所述低真空腔体（7）位于第一密封圈（2）的顶部。
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