[实用新型]一种硅片脱胶固定装置

说明书

本实用新型公开了一种硅片脱胶固定装置，包括底座，所述底座上固定有两个相互平行的支撑板，支撑板左右两侧设有第二滑槽，第二滑槽与支撑腿滑动连接，所述底座上表面固定有齿条，齿条设置在支撑板的右侧，齿条上方设置有与其相啮合的齿轮，齿轮安装在电机的主轴上，电机固定在底板的右侧下表面，所述底座上安装有支撑架，支撑架的右侧方安装有PLC控制器，支撑架的中部与电动伸缩杆的上端连接，电动伸缩杆下端设有安装板，安装板上安装有电磁吸盘，支撑腿的上端设有底板，底板上方设有载物槽，载物槽的左侧安装固定挡板。灵活可控，且可以有效固定，减少碎片率，整个装置简单，操作方便。

技术领域

本实用新型涉及硅片脱胶装置技术领域，具体为一种硅片脱胶固定装置。

背景技术

在硅片脱胶环节中，硅片需要加以固定后脱胶才能保证硅片不出现随意倾倒的现象，现行技术中多采用在硅片间间隔一段距离插入隔板的方法来固定硅片。但是此方法硅片仍然会倾斜，且固定效果较差，后续操作中使硅片碎片，隐裂，造成经济损失。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是克服现有的缺陷，提供一种硅片脱胶固定装置，操作方便，固定效果相对于传统方式更好，可以有效解决背景技术中的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种硅片脱胶固定装置，包括底座，所述底座上固定有两个相互平行的支撑板，支撑板左右两侧设有第二滑槽，第二滑槽与支撑腿滑动连接，所述底座上表面固定有齿条，齿条设置在支撑板的右侧，齿条上方设置有与其相啮合的齿轮，齿轮安装在电机的主轴上，电机固定在底板的右侧下表面，所述底座上安装有支撑架，支撑架的右侧方安装有PLC控制器，支撑架的中部与电动伸缩杆的上端连接，电动伸缩杆下端设有安装板，安装板上安装有电磁吸盘，支撑腿的上端设有底板，底板上方设有载物槽，载物槽的左侧安装固定挡板，载物槽的右侧滑动连接有滑动挡板，所述支撑架的内侧和载物槽的右侧对应安装有光电开关，所述PLC控制器的输入端分别与光电开关和外部电源的输出端电连接，PLC控制器的输出端与电动伸缩杆、电磁吸盘和电机的输入端电连接。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述左侧的固定挡板的上部两端分别与两个调节螺杆的一端固定连接，两个调节螺杆的另一端分别贯穿右侧的滑动挡板两端并安装螺母。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述调节螺杆的数量为两个，且两个调节螺杆设置在固定挡板的前后两侧。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述载物槽的数量不少于十个，载物槽均匀平行分布在底板的上方。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述载物槽的形状为V型，载物槽由橡胶材料制成。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述底板的上表面前后两侧均设有第一滑槽，滑动挡板的前后两侧下端设有与第一滑槽相配合的滑块。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本硅片脱胶固定装置，采用的载物槽形状为V型，可以有效且牢固的固定硅片，且载物槽的材质为橡胶，橡胶可以有效的保护硅片，最大程度上减少了硅片的碎片率，载物槽的左右两侧都有挡板，右侧挡板可以滑动，在装载不同尺寸的硅片时可以灵活调节，并且有效固定，整个装置简单，操作方便，固定效果相对于传统方式更好。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图。

图中：1底座、2支撑板、3齿条、4支撑架、5PLC控制器、6光电开关、7齿轮、8滑动挡板、9调节螺杆、10螺母、11载物槽、12电动伸缩杆、13电磁吸盘、14固定挡板、15第一滑槽、16滑块、17支撑腿、18第二滑槽、19电机、20底板。

具体实施方式