[实用新型]一种化学气相沉积装置

说明书

本实用新型提供一种化学气相沉积装置。所述化学气相沉积装置包括气体分配盒、腔室本体以及至少两个定位销。所述腔室本体具有至少两个螺纹孔，所述气体分配盒上设置有与所述螺纹孔相匹配的通孔，所述定位销通过所述螺纹孔与所述腔室本体可拆卸连接，所述定位销部分设置在所述气体分配盒上的通孔内，所述定位销设置在所述通孔内的部分的最大外径与所述通孔的最小孔径相等。本实用新型中的化学气相沉积装置可提高化学气相沉积装置安装的便捷性，可减少安装过程中气体分配盒、腔室本体以及设置在气体分配盒、腔室本体之间的密封圈的磨损。

技术领域

本实用新型涉及半导体技术领域，特别涉及一种化学气相沉积装置。

背景技术

化学气相沉积(CVD)装置在做维护时，需要将气体分配盒重新安装到腔室本体上，并用至少两颗螺丝将其锁紧在腔室本体上。其中，所述气体分配盒用于使传输至反应腔内的反应气体在反应腔室内的分布更均匀，所述腔室本体用于支撑形成反应腔的零件，所述反应气体在所述反应腔内发生反应。在将气体分配盒安装到腔室本体上的过程中需要来回旋转气体分配盒，以使气体分配盒和腔室本体上用于螺丝安装的孔对准，然后再用螺丝将气体分配盒和腔室本体锁紧。

目前，化学气相沉积装置中的气体分配盒的重量大约在7.5kg左右，在将气体分配盒安装到腔室本体上的过程中，来回旋转气体分配盒需要耗费大量的时间和体力，并且在来回旋转气体分配盒的过程中容易使气体分配盒、腔室本体以及设置在气体分配盒、腔室本体之间的密封圈由于反复摩擦而磨损。

因此，急需对现有的化学气相沉积装置进行改进，以提高化学气相沉积装置安装的便捷性。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种化学气相沉积装置，以提高化学气相沉积装置安装的便捷性。

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种化学气相沉积装置，包括：气体分配盒和腔室本体，所述腔室本体具有至少两个螺纹孔，所述气体分配盒上设置有与所述螺纹孔相匹配的通孔，所述化学气相沉积装置还包括至少两个定位销，所述定位销通过所述螺纹孔与所述腔室本体可拆卸连接，所述定位销部分设置在所述气体分配盒上的通孔内，所述定位销设置在所述通孔内的部分的最大外径与所述通孔的最小孔径相等。

可选的，所述定位销至少有部分穿过所述气体分配盒上的通孔。

可选的，所述定位销具有一拆卸部，所述拆卸部用于将所述定位销从所述腔室本体上拆卸下来。

可选的，所述拆卸部为内六角孔，所述定位销远离所述腔室本体和气体分配盒的一端为顶端，所述内六角孔开设在所述定位销的顶端的中心处。

可选的，所述定位销包括第一圆柱段和第二圆柱段，所述第一圆柱段与所述第二圆柱段固定连接，所述第一圆柱段远离所述第二圆柱段的一端与所述腔室本体固定连接，所述第二圆柱段部分设置在所述气体分配盒的通孔内。

可选的，所述定位销还包括圆锥段，所述圆锥段的大端与所述第二圆柱段远离所述第一圆柱段的一端固定连接。

可选的，所述螺纹孔的数量为六个，且六个所述螺纹孔均匀分布。

可选的，所述定位销的数量为两个。

可选的，两个所述定位销关于六个所述螺纹孔的中心中心对称。

可选的，所述定位销的材质为不锈钢。

本实用新型提供的一种化学气相沉积装置，具有以下有益效果：