[实用新型]回形质量块静电悬浮六自由度微加速度计悬浮控制系统

权利要求书

1.回形质量块静电悬浮六自由度微加速度计悬浮控制系统，所述微加速度计包括质量块和多个控制电极对，其特征在于，所述悬浮控制系统包括DSP数字信号处理器、信号发生器、前置放大器、移相器、锁相放大器、高压放大器和控制合成电路，信号发生器分别与移相器、控制合成电路连接，移相器与锁相放大器连接，前置放大器、锁相放大器、DSP数字信号处理器、高压放大器、控制合成电路依次连接；前置放大器包括相连接的I-V转换电路和放大器，I-V转换电路与微加速度计的公共电极连接。

2.根据权利要求1所述的回形质量块静电悬浮六自由度微加速度计悬浮控制系统，其特征在于，所述信号发生器包括单片机、直接数字频率合成单元和两路带通滤波器，直接数字频率合成单元分别与单片机、两路带通滤波器连接，其中一路带通滤波器与移相器连接，另一路带通滤波器与微加速度计的控制合成电路连接。

3.根据权利要求2所述的回形质量块静电悬浮六自由度微加速度计悬浮控制系统，其特征在于，所述单片机为单片机89C51。

4.根据权利要求1所述的回形质量块静电悬浮六自由度微加速度计悬浮控制系统，其特征在于，所述锁相放大器包括乘法器和低通滤波器LPF，乘法器与前置放大器连接，低通滤波器LPF与DSP数字信号处理器连接。

5.根据权利要求1所述的回形质量块静电悬浮六自由度微加速度计悬浮控制系统，其特征在于，所述回形质量块静电悬浮六自由度微加速度计悬浮控制系统还包括与DSP连接的上位机。