[实用新型]多功能超快激光微细加工系统

权利要求书

1.多功能超快激光微细加工系统，其特征在于：超快激光器(A)输出端设有倍频模块(B)，倍频模块(B)输出端有三个波段的出光口，其第一波段输出光路(B1)上设有第一光路传输模组，第二波段输出光路(B2)上设有第二光路传输模组，第一光路传输模组和第二光路传输模组输出的光路上设有合束镜(F)，光束经合束镜(F)合为一束使其处于同一光路上，合束镜(F)输出端依次设有第一光路切换装置(G1)、第二光路切换装置(G2)和第三光路切换装置(G3)，第三波段输出光路(B3)上设有第三光路传输模组，第三光路传输模组输出的光束处于另一光路上，第三光路传输模组输出端依次设有第四光路切换装置(G4)、第五切换装置(G5)和第六反射镜(D6)，第四光路切换装置(G4)、第五切换装置(G5)和第六反射镜(D6)的中心在垂直方向上分别与第一光路切换装置(G1)、第二光路切换装置(G2)和第三光路切换装置(G3)的中心对齐，第一光路切换装置(G1)垂直射出端光路上设有第一光阑(H1)，第二光路切换装置(G2)垂直射出端光路上设有第二光阑(H2)，第三光路切换装置(G3)垂直射出端光路上设有第三光阑(H3)，第一光阑(H1)输出端设有多光束并行加工模块(I)，第二光阑(H2)输出端设有三维扫描振镜加工模块(J)，第三光阑(H3)输出端设有钻孔加工模块(K)。

2.根据权利要求1所述的多功能超快激光微细加工系统，其特征在于：所述超快激光器(A)为皮秒激光器或纳秒激光器。

3.根据权利要求1所述的多功能超快激光微细加工系统，其特征在于：所述第一光路传输模组包含第一偏振转换装置(C1)以及第一扩束镜(E1)，第一偏振转换装置(C1)位于第一波段输出光路(B1)上，第一扩束镜(E1)位于第一偏振转换装置(C1)的输出端。

4.根据权利要求3所述的多功能超快激光微细加工系统，其特征在于：所述第一偏振转换装置(C1)与第一扩束镜(E1)之间设有反射镜(D1)，镀有1030nm高反膜。

5.根据权利要求1所述的多功能超快激光微细加工系统，其特征在于：所述第二光路传输模组包含第二偏振转换装置(C2)以及第二扩束镜(E2)，第二偏振转换装置(C2)位于第二波段输出光路(B2)上，第二扩束镜(E2)位于第二偏振转换装置(C2)的输出端。

6.根据权利要求5所述的多功能超快激光微细加工系统，其特征在于：所述第二偏振转换装置(C2)与第二扩束镜(E2)之间设有反射镜(D2)，镀有515nm高反膜。

7.根据权利要求1所述的多功能超快激光微细加工系统，其特征在于：所述合束镜(F)为双波段镜片，透射输入端镀有515nm增透膜，反射输出端镀有1030nm高反膜以及515nm增透膜。

8.根据权利要求1所述的多功能超快激光微细加工系统，其特征在于：所述第三光路传输模组包含第三偏振转换装置(C3)以及第三扩束镜(E3)，第三偏振转换装置(C3)位于第三波段输出光路(B3)上，第三扩束镜(E3)位于第三偏振转换装置(C3)的输出端。

9.根据权利要求8所述的多功能超快激光微细加工系统，其特征在于：所述第三偏振转换装置(C3)与第三扩束镜(E3)之间设有反射镜(D3)，镀有343nm高反膜。

10.根据权利要求1所述的多功能超快激光微细加工系统，其特征在于：所述第一光路切换装置(G1)、第二光路切换装置(G2)、第三光路切换装置(G3)、第四光路切换装置(G4)以及第五切换装置(G5)均包含反射镜、步进电机和导轨，反射镜置于导轨上，步进电机驱动其在导轨上移动，控制光路的切进与切出；当反射镜切进光路时，光束于反射镜中心处反射输出；当反射镜切出光路时，反射镜未阻碍光束，光束通过。