[实用新型]一体式单晶炉底腔

说明书

本实用新型提出一种一体式单晶炉底腔，包括下炉体与炉底盘，下炉体顶部与上炉体相连，其底部与炉底盘相连，炉底盘置于基座上，下炉体两端开口，其顶部边缘具有转接环，转接环向下炉体外侧伸出，下炉体通过该转接环与上炉体相连，下炉体底部具有底板，底板的直径大于下炉体的直径，由底板将下炉体底部封住；炉底盘的直径与底板一致，炉底盘中部向下方凸出，其边缘与炉底盘边缘焊接相连，在炉底盘与底板之间形成隔离腔，底板底部焊接有隔条，隔条沿底板中心向外螺旋延伸，在隔离腔内形成底部螺旋水路。该单晶炉底腔把炉底盘与下炉体设计成一个整体，炉底盘与下炉体的法兰用焊接方式进行结合，可节约零件加工时间，减少装配时间，节约材料成本。

技术领域

本实用新型涉及单晶炉，尤其涉及一种一体式单晶炉底腔。

背景技术

常用的单晶炉底腔是由炉底盘与下炉体组装而成，在制造过程中分别对炉底盘与下炉体进行机械加工，而在安装过程中还要组装在一起，中间用氟橡胶进行密封连接。由于采用分体式结构，对各部件的加工精密度以及组装工艺有较高要求，并且氟橡胶需要采用特定设备生产，增加了设备、材料成本和加工时间，组装后还需要考虑后期维护工作。因此有必要对这种单晶炉底腔进行结构优化，以克服上述缺陷。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种一体式单晶炉底腔，以减少材料成本，节约加工时间。

本实用新型为解决其技术问题所采用的技术方案是：

一体式单晶炉底腔，包括下炉体与炉底盘，下炉体顶部与上炉体相连，其底部与炉底盘相连，炉底盘置于基座上，其中：

下炉体两端开口，其顶部边缘具有转接环，转接环向下炉体外侧伸出，下炉体通过该转接环与上炉体相连，下炉体底部具有底板，底板的直径大于下炉体的直径，由底板将下炉体底部封住；

炉底盘的直径与底板一致，炉底盘中部向下方凸出，其边缘与炉底盘边缘焊接相连，在炉底盘与底板之间形成隔离腔，底板底部焊接有隔条，隔条沿底板中心向外螺旋延伸，在隔离腔内形成底部螺旋水路，底板中部设有轴套，轴套顶端与下炉体内部连通，其底端贯穿炉底盘向外伸出，轴套底端具有卷边，卷边向轴套外侧翻卷，轴套外部包覆有套壳，套壳一端焊接于炉底盘底部，其另一端与卷边焊接相连，套壳的直径大于轴套的直径，在套壳与轴套之间形成冷却腔，冷却腔与底部螺旋水路内端连通，炉底盘底部焊接有进水管，进水管内端与底部螺旋水路外端连通，套壳侧壁具有焊接有出水管，出水管内端与冷却腔连通，进水管及出水管外端与供水设备连通，由供水设备向隔离腔及冷却腔内输入冷却水。

下炉体包括内筒与外筒，外筒包覆于内筒外部，在外筒与内筒之间形成侧腔，转接环焊接于外筒与内筒顶端，底板焊接于外筒与内筒底端，外筒内壁焊接有棱条，棱条以外筒的轴线为中轴螺旋延伸，在外筒与内筒之间形成侧部螺旋水路，外筒外壁焊接有进液管与出液管，进液管内端与侧部螺旋水路顶端连通，出液管内端与侧部螺旋水路底端连通，进液管及出液管外端与冷却液供应设备连通，由冷却液供应设备向侧部螺旋水路输入冷却液。

底板中设有一组轴管，各轴管以轴套为中心呈圆形阵列，各轴管贯穿底板与炉底盘，其顶端与底板焊接相连，其底端与炉底盘焊接相连，使下炉体与外部连通。

炉底盘底部设有一组温度传感器，各温度传感器以轴套为中心呈圆形阵列。

炉底盘底部边缘具有一组定位孔，定位孔沿炉底盘的周向均匀排布，炉底盘通过该定位孔与基座相连。

本实用新型的优点在于：

该单晶炉底腔把炉底盘与下炉体设计成一个整体，炉底盘与下炉体的法兰用焊接方式进行结合，由于零部件减少，可节约零件加工时间，减少装配时间，节约材料成本。

附图说明

图1是本实用新型提出的一体式单晶炉底腔的结构示意图；

图2是该一体式单晶炉底腔的纵剖面结构示意图。