[实用新型]胶丝检测装置有效

专利信息
申请号: 201721619623.2 申请日: 2017-11-28
公开(公告)号: CN207474423U 公开(公告)日: 2018-06-08
发明(设计)人: 崔庆珑;熊民强 申请(专利权)人: 威士达半导体科技(张家港)有限公司
主分类号: H01L21/66 分类号: H01L21/66
代理公司: 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 代理人: 赵志远
地址: 215000 江苏省苏州市张*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 胶丝 支架 承载板 超声波清洗机 检测装置 切痕 紫外线照射装置 本实用新型 待检测物 清洗槽 上表面 半导体制造 辅助设备 清洗 照射 承载 观察
【权利要求书】:

1.一种胶丝检测装置,其特征在于,包括超声波清洗机和紫外线照射装置;

所述超声波清洗机的清洗槽内设置有第一支架和第二支架,所述第一支架位于所述第二支架的上方,所述第一支架上用于放置封装有UV膜的待检测物,所述UV膜的切痕面朝向所述清洗槽的槽底;所述第二支架上设置有胶丝承载板,所述胶丝承载板的上表面的面积不小于所述UV膜的切痕面的面积;所述超声波清洗机用于清洗所述待检测物,以使所述UV膜的切痕面上的胶丝落在所述胶丝承载板的上表面;

所述紫外线照射装置用于照射承载有胶丝的胶丝承载板。

2.根据权利要求1所述的胶丝检测装置,其特征在于,所述胶丝承载板的材质为镀膜玻璃。

3.根据权利要求1所述的胶丝检测装置,其特征在于,所述胶丝承载板的厚度为0.6~2cm。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的胶丝检测装置,其特征在于,所述第一支架包括第一支撑板和第二支撑板,所述第一支撑板与所述清洗槽的一个槽壁固定连接,所述第二支撑板与所述清洗槽的相对的另一个槽壁固定连接,所述第一支撑板和所述第二支撑板之间间隙设置,且所述第一支撑板的板面与所述第二支撑板的板面重合;所述待检测物架设于所述第一支撑板与所述第二支撑板上。

5.根据权利要求4所述的胶丝检测装置,其特征在于,所述第一支撑板和所述第二支撑板均设置有第一限位槽,所述待检测物位于所述第一限位槽中。

6.根据权利要求4所述的胶丝检测装置,其特征在于,所述第一支撑板和所述第二支撑板之间的间隙为10~20cm。

7.根据权利要求4所述的胶丝检测装置,其特征在于,所述第一支撑板的上表面和所述第二支撑板的上表面均设置有硅胶防护层。

8.根据权利要求1至3中任一项所述的胶丝检测装置,其特征在于,所述第二支架包括第三支撑板和第四支撑板,所述第三支撑板与所述清洗槽的一个槽壁固定连接,所述第四支撑板与所述清洗槽的相对的另一个槽壁固定连接,所述第三支撑板和所述第四支撑板之间间隙设置,且所述第三支撑板的板面与所述第四支撑板的板面重合;所述胶丝承载板架设于所述第三支撑板与所述第四支撑板上。

9.根据权利要求8所述的胶丝检测装置,其特征在于,所述第一支撑板和所述第二支撑板均设置有第二限位槽,所述待检测物位于所述第二限位槽中。

10.根据权利要求8所述的胶丝检测装置,其特征在于,所述第三支撑板和所述第四支撑板之间的间隙为15~22cm。

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