[实用新型]基板押元组件组装治具

说明书

本实用新型涉及一种基板押元组件组装治具，基板押元组件包括基板押元、支撑件和垫片，组装治具包括：基台；固定于所述基台上的基座，用于固定基板押元和支撑件；固定于所述基台上的垫片安装机构，用于将垫片安装于基板押元和支撑件之间。本实用新型的有益效果是：减少在进行基板押元组件组装过程中的人为接触，避免基板押元的破损，提高工作效率。

技术领域

本实用新型涉及显示产品制作技术领域，尤其涉及一种基板押元组件组装治具。

背景技术

薄膜沉积技术在机械、电子、半导体等多个领域有着广泛的应用。目前，大世代PVD设备普遍采用立式结构，玻璃基板由安装在载盘外框架基板押元上的Guide(支撑件)和安装在载盘内框架上的Pin(支撑柱)所夹持，其中基板押元接地(为零电位)，可起到与阴极形成电势差，利于靶材原子溅射到玻璃基板上，从而利于成膜的作用。相应的玻璃基板装载过程如下：载盘在水平位置内外框架分离，载入玻璃基板，然后经对位，内外框架合并，完成玻璃基板装载(卸载过程与之相反)；之后，载有玻璃基板的载盘由马达驱动的轮子带动穿梭于各腔室之间，出于成本和空间的考虑，轮子的设置并非连续，载盘在搬送过程中难免会有颠簸，这也为玻璃基板破片埋下了隐患。实际生产中，玻璃基板在载盘上有一定的活动余量，可以通过调整Guide和基板押元之间的垫片数量，调整Guide和玻璃基板之间的间距；通过调整与基板接触的Guide种类(如安装有弹簧的Guide)，减轻载盘在运动过程中可能存在的基板与Guide撞击的力度，从而降低玻璃基板破片的风险。

综上所述，基板押元组件的组装在薄膜沉积过程中尤为重要。现行的基板押元组件组装方式为：作业人员位于作业区域内，基板押元置于地板或作业人员的身上，然后将Guide与基板押元进行组装。

具体的，现有的组装作业方式存在以下不足：

1.实际生产过程中，由于安装在玻璃基板四周基板押元上的Guide种类，以及基板押元与Guide之间的垫片数量不尽相同，组装作业十分繁琐，作业效率相对低下；

2.基板押元为陶瓷材质，脆性较大，频繁的人为接触使得基板押元破损的情况时有发生，造成公司财产的损失；

3.频繁的人为接触增加了灰尘引入的几率，对产品的良率有一定的影响。

实用新型内容

为了解决上述技术问题，本实用新型提供一种基板押元组件组装治具，解决在基板押元组件组装的过程中、人为接触频繁，容易造成基板押元破损以及工作效率低的问题。

为了达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种基板押元组件组装治具，基板押元组件包括基板押元、支撑件和垫片，组装治具包括：

基台；

固定于所述基台上的基座，用于固定基板押元和支撑件；

固定于所述基台上的垫片安装机构，用于将垫片安装于基板押元和支撑件之间。

进一步的，所述基座上设有用于容纳固定基板押元的第一凹槽，在所述第一凹槽的第一侧设有用于容纳固定支撑件的多个第二凹槽。

进一步的，所述垫片安装机构包括：

固定支架，固定于所述基台上；

垫片支架，具有多个垫片限位凹槽；

移动结构，设置于所述固定支架与所述垫片支架之间，用于控制所述垫片支架移动、以使得所述垫片限位凹槽与所述第二凹槽的位置相对应。

进一步的，所述移动结构包括伸缩杆，所述伸缩杆的一端连接在所述固定支架上，所述伸缩杆的另一端与所述垫片支架连接，所述伸缩杆能够伸缩，以使得所述垫片支架在靠近所述基座或远离所述基座的方向上往复运动。