[实用新型]一种高低温悬臂式探针卡有效

专利信息
申请号: 201721627557.3 申请日: 2017-11-29
公开(公告)号: CN207528782U 公开(公告)日: 2018-06-22
发明(设计)人: 徐剑 申请(专利权)人: 强一半导体(苏州)有限公司
主分类号: G01R1/073 分类号: G01R1/073
代理公司: 无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙) 32260 代理人: 张欢勇
地址: 215000 江苏省苏州*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 补强板 气密垫 气密盖 陶瓷环 悬臂式探针卡 锁紧螺栓 高低温 螺纹孔 针尖 本实用新型 研磨 固定胶 开口式 上位置 探针 开口 维修 观察 制作 检查
【权利要求书】:

1.一种高低温悬臂式探针卡,包括PCB板(1),其特征在于,所述PCB板(1)顶部设有补强板(2),所述补强板(2)上设有开口,所述PCB板(1)与补强板(2)上位置对应处均设有螺纹孔,所述PCB板(1)通过锁紧螺栓(3)与补强板(2)固定连接,所述补强板(2)顶部设有气密垫(4),所述气密垫(4)顶部设有气密盖(5),所述气密垫(4)与所述气密盖(5)上与所述补强板(2)位置对应处也设有螺纹孔,所述气密垫(4)、气密盖(5)与所述补强板(2)之间也通过锁紧螺栓(3)固定连接,所述PCB板(1)下方设有陶瓷环(6),所述陶瓷环(6)底部固定有探针(7),所述陶瓷环(6)顶部通过固定胶(8)与PCB板(1)固定连接。

2.根据权利要求1所述一种高低温悬臂式探针卡,其特征在于:所述探针(7)的个数设有两个,所述探针(7)的位置以所述PCB板(1)的中线为基准呈对称分布。

3.根据权利要求1所述一种高低温悬臂式探针卡,其特征在于:所述探针(7)一端设有勾型结构。

4.根据权利要求1所述一种高低温悬臂式探针卡,其特征在于:所述探针(7)顶端与所述PCB板(1)底部固定连接。

5.根据权利要求1所述一种高低温悬臂式探针卡,其特征在于:所述气密垫(4)、气密盖(5)均采用耐高温弹性材料制成。

6.根据权利要求1所述一种高低温悬臂式探针卡,其特征在于:所述陶瓷环(6)底部通过环氧树脂块(9)与探针(7)固定连接。

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