[实用新型]一种线性蒸镀源坩埚喷嘴有效
| 申请号： | 201721628314.1 | 申请日： | 2017-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN207537523U | 公开（公告）日： | 2018-06-26 |
| 发明（设计）人： | 邓云升;曾兴中;蔡晓义;周扬川;柯贤军;苏君海;李建华 | 申请（专利权）人： | 信利（惠州）智能显示有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 邓聪权 |
| 地址： | 516029 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 坩埚喷嘴 蒸镀源 蒸镀 本实用新型 喷嘴设计 器件结构 均匀性 字型 掺杂 保证 | ||
【权利要求书】：
1.一种线性蒸镀源坩埚喷嘴，其特征在于，所述喷嘴设计为扁平“8”字型。
2.如权利要求1所述的一种线性蒸镀源坩埚喷嘴，其特征在于，掺杂材料的蒸镀源坩埚喷嘴采用所述扁平“8”字型。
3.如权利要求2所述的一种线性蒸镀源坩埚喷嘴，其特征在于，同种主体材料的蒸镀源坩埚喷嘴采用圆形。
4.如权利要求3所述的一种线性蒸镀源坩埚喷嘴，其特征在于，线性蒸发源由三个蒸镀源组成，两边同种主体材料的蒸镀源的坩埚喷嘴采用圆形，中间掺杂材料的蒸镀源坩埚喷嘴采用所述扁平“8”字型。
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