[实用新型]一种新型独立驱动的薄膜分离机构

权利要求书

1.一种新型独立驱动的薄膜分离机构，其特征在于，包括安装平台，所述安装平台的一侧设有多个用于分别吸附晶片底面的第一吸附组件，每个所述第一吸附组件对应于一个所述晶片，所述安装平台上设有多个用于分别吸附位于所述晶片顶面的薄膜的第二吸附组件，所述第一吸附组件和第二吸附组件一一对应，且吸附方向相反，每个所述第二吸附组件均连接一个驱动机构，且可在所述驱动机构的驱动下进行上下移动，各个所述驱动机构独立设置且均设于所述安装平台上。

2.根据权利要求1所述的新型独立驱动的薄膜分离机构，其特征在于，各个所述第一吸附组件均位于同一平面上。

3.根据权利要求2所述的新型独立驱动的薄膜分离机构，其特征在于，各个所述第一吸附组件至少包括两个真空吸盘，相邻两个所述真空吸盘间隔设置，且分别通过机械臂设于安装平台的同一侧。

4.根据权利要求3所述的新型独立驱动的薄膜分离机构，其特征在于，所述机械臂的顶面用于安装所述第一吸附组件，所述机械臂的端部与所述安装平台连接。

5.根据权利要求1～4任一项所述的新型独立驱动的薄膜分离机构，其特征在于，所述驱动机构包括连接杆、轴承、第一转轴和带有第二转轴的电机，所述轴承设于所述安装平台上，所述第一转轴穿过所述轴承并与所述轴承的内圈固定连接，所述连接杆一端与所述第二吸附组件连接，另一端固定套接于所述第一转轴的外围，所述第一转轴上套接有第一齿轮，所述第二转轴上套接有与所述第一齿轮啮合的第二齿轮。

6.根据权利要求5所述的新型独立驱动的薄膜分离机构，其特征在于，各个所述第一转轴均同轴。

7.根据权利要求5所述的新型独立驱动的薄膜分离机构，其特征在于，所述第一转轴与所述连接杆垂直。

8.根据权利要求1～4任一项所述的新型独立驱动的薄膜分离机构，其特征在于，每个所述第二吸附组件均通过连接杆与所述驱动机构连接，所述连接杆一端与所述第二吸附组件连接，另一端固定套接于所述驱动机构的转轴外围，且所述连接杆在所述驱动机构的驱动下绕所述转轴进行转动。

9.根据权利要求1所述的新型独立驱动的薄膜分离机构，其特征在于，所述第一吸附组件和第二吸附组件均为真空吸盘，所述真空吸盘通过软管连接有真空发生器。

10.根据权利要求1所述的新型独立驱动的薄膜分离机构，其特征在于，还包括滑轨，所述安装平台可滑动地设于所述滑轨上。