[实用新型]一种蒸发源单元挡片

说明书

本实用新型涉及蒸镀领域，公开了一种蒸发源单元挡片，所述单元挡片内设有加热丝网，所述加热丝网为双层结构，内层为用于加热的电阻丝，外层为多孔绝缘导热材料。采用该技术方案能预防喷嘴堵塞的发生，增加生产效率。

技术领域

本实用新型涉及蒸镀领域，特别涉及一种蒸发源单元挡片。

背景技术

AMOLED显示技术是新一代显示技术，它比传统液晶显示器使用寿命更长，色纯度更高更饱和、可以做到液晶显示技术做不到的可折叠式显示屏，受到市场以及研发机构的青睐。AMOLED显示技术核心工艺之一是蒸镀，现有的蒸镀设备一般采用线性源进行有机薄膜的制备，每个线性源都有多个线性蒸发源组成，根据具体需要，在正式生产前，需要对每个线性蒸发源进行膜厚确认，从而确保实际的蒸镀膜厚与设计膜厚一致。

在蒸镀设备设计中，除需测试蒸发源之外其余蒸发源采用单元挡片进行遮挡，降低不在测试范围内的蒸发源对被测试蒸发源数据造成影响，从而分别对单个线性源坩埚进行膜厚校正。单元挡片在使用过程中被测试蒸发源蒸发出来的材料会大量堆积在其表面，当材料堆积过多，线性源在扫描的过程中，因震动或者其他原因部分材料从单元挡片上掉落，使蒸发源喷嘴堵塞，导致设备停机，影响生产效率。

实用新型内容

本实用新型实施例的目的在于提供一种蒸发源单元挡片，能预防喷嘴堵塞的发生，增加生产效率。

本实用新型实施例提供的一种蒸发源单元挡片，所述单元挡片内设有加热丝网，所述加热丝网为双层结构，内层为用于加热的电阻丝，外层为多孔绝缘导热材料。

可选地，所述单元挡片固定在蒸发源的固定支架上。

可选地，所述单元挡片通过铁杆固定在所述固定支架上。

可选地，所述铁杆上设有用于固定所述单元挡片的矩形槽，所述矩形槽套接在所述固定支架上。

可选地，所述固定支架上还设有用于改变材料喷射角度的分层挡板。

可选地，还包括用于固定所述加热丝网的铁片。

可选地，还设有所述电阻丝外接的通道。

由上可见，应用本实施例技术方案，由于采用单元挡片内加热丝网的设计，既能吸附不在入射角的材料，减少材料分子之间的碰撞有利于蒸镀的均匀性，当材料堆积过多时能蒸发掉沉积过多的材料，预防喷嘴堵塞的发生，增加生产效率和产能。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型提供的一种单元挡片结构图；

图2为本实用新型提供的一种加热丝网结构图；

图3为本实用新型提供的一种铁杆固定结构图；

图4为本实用新型提供的一种铁片固定结构图；

图5为本实用新型提供的一种线性蒸发源示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例：