[实用新型]一种线性蒸发源蒸镀设备有效
| 申请号： | 201721629547.3 | 申请日： | 2017-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN207567335U | 公开（公告）日： | 2018-07-03 |
| 发明（设计）人： | 邓云升;蔡晓义;周扬川;吴玉景;柯贤军;苏君海;李建华 | 申请（专利权）人： | 信利（惠州）智能显示有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 邓聪权 |
| 地址： | 516029 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 线性蒸发源 待机区域 蒸镀 蒸镀腔体 蒸镀设备 本实用新型 生产效率 真空阀门 蒸镀腔 隔开 体内 维护 | ||
【权利要求书】：
1.一种线性蒸发源蒸镀设备，其特征在于，包括蒸镀腔体、两个线性蒸发源及两个相应的线性蒸发源待机区域，所述线性蒸发源待机区域为在不蒸镀或维护时所处区域，两个所述线性蒸发源待机区域与所述蒸镀腔体分别采用真空阀门隔开，所述蒸镀腔体内设有两个蒸镀机构。
2.如权利要求1所述的一种线性蒸发源蒸镀设备，其特征在于，每个所述蒸镀机构包括基板、掩膜版及所述基板和掩膜版的对位机构。
3.如权利要求2所述的一种线性蒸发源蒸镀设备，其特征在于，在两个所述线性蒸发源上方均设有挡板。
4.如权利要求3所述的一种线性蒸发源蒸镀设备，其特征在于，每个所述线性蒸发源还包括驱动蒸发源来回扫描的机械手。
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