[实用新型]一种真空室窗口的保护装置

说明书

本实用新型公开了一种真空室窗口的保护装置，包括柔性透视膜、用以装载柔性透视膜的装载滚轴、装载滚轴固定座、用以回收柔性透视膜的回收滚轴、回收滚轴固定座及转轴；其中，装载滚轴固定座和回收滚轴固定座相对的固定设置于一真空室窗口的边缘，装载滚轴和回收滚轴分别设置于装载滚轴固定座和回收滚轴固定座上，且平行设置；柔性透视膜一端固定于回收滚轴上，转轴连接回收滚轴，以控制回收滚轴旋转。通过本实用新型，能够阻止靶材金属沉积于真空室窗口的石英玻璃内表面，让每次照射到靶材表面的激光能量保持一致性，提高PLD镀膜的一致性、可重复性。

技术领域

本实用新型涉及真空作业领域，特别是涉及一种真空室窗口的保护装置。

背景技术

目前脉冲激光溅射沉积技术中，激光需要先透过真空石英窗口再轰击到设置于真空室内的靶材上，轰击出来的靶材原子会沿各个方向运动，所以真空石英窗口内侧表面也会附上一层靶材材料。时间长了之后，激光透过真空石英窗口的能力就会衰弱。为保证真空石英窗口的激光透射能力，需要定期把真空石英窗口从真空室上拆下来，对石英玻璃内表面进行研磨，去除沉积的靶材金属。

但是石英玻璃研磨需要专业人员进行，对于普通使用者来说，一旦处理不好就会影响激光穿过石英玻璃的透过率。热熔式石英玻璃价格比较昂贵，一旦受损就必须换新。而且真空石英窗口安装于真空室时，是与管路法兰固定连接的，通常都是采用CF法兰刀口密封，拆装都比较麻烦，而且容易造成泄露。目前的石英窗口由于经常被污染且不能更新，而影响镀膜时透过激光的能量，从而使得PLD镀膜的一致性、重复性不好。

实用新型内容

本实用新型主为解决现有问题的不足之处而提供一种真空室窗口的保护装置。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的一个技术方案是：提供一种真空室窗口的保护装置，包括：柔性透视膜、用以装载柔性透视膜的装载滚轴、装载滚轴固定座、用以回收柔性透视膜的回收滚轴、回收滚轴固定座及转轴；其中，装载滚轴固定座和回收滚轴固定座相对的固定设置于一真空室窗口的边缘，装载滚轴和回收滚轴分别设置于装载滚轴固定座和回收滚轴固定座上，且平行设置；柔性透视膜一端固定于回收滚轴上，转轴连接回收滚轴，以控制回收滚轴旋转。

其中，转轴为真空导入转轴。

其中，装载滚轴和回收滚轴相对于装载滚轴固定座和回收滚轴固定座绕轴转动。

其中，柔性透视膜固定于装载滚轴和回收滚轴间时，至少覆盖所述激光入射区域。

其中，真空室窗口为真空法兰石英窗口或其它具有光学透射率≥50％的材质制作的窗口。

区别于现有技术，本实用新型的真空室窗口的保护装置包括柔性透视膜、用以装载柔性透视膜的装载滚轴、装载滚轴固定座、用以回收柔性透视膜的回收滚轴、回收滚轴固定座及转轴；其中，装载滚轴固定座和回收滚轴固定座相对的固定设置于一真空室窗口的边缘，装载滚轴和回收滚轴分别设置于装载滚轴固定座和回收滚轴固定座上，且平行设置；柔性透视膜一端固定于回收滚轴上，转轴连接回收滚轴，以控制回收滚轴旋转。通过本实用新型，能够阻止靶材金属沉积于真空室窗口的石英玻璃内表面，让每次照射到靶材表面的激光能量保持一致性，提高PLD镀膜的一致性、可重复性。

附图说明

图1是本实用新型提供的一种真空室窗口的保护装置的结构示意图。

具体实施方式

下面结合具体实施方式对本实用新型的技术方案作进一步更详细的描述。显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都应属于本实用新型保护的范围。