[实用新型]一种便于安装的加工研磨硅片载体模具

权利要求书

1.一种便于安装的加工研磨硅片载体模具，包括支撑杆(1)、减震弹簧(2)、工作台(3)、研磨杆(4)、滑轨(5)、横板(6)、转轮(7)、丝杆(8)、连接杆(9)、电动机(10)、转盘(11)、载体模具(12)、凹槽(13)、拉杆(14)、滑槽(15)、滑动杆(16)、第一固定块(17)、研磨球(18)、第二固定块(19)、卡槽(20)和弹簧(21)，其特征在于，所述工作台(3)的下表面设有四个呈矩形分布的支撑杆(1)，支撑杆(1)的上端与工作台(3)的下表面之间设有若干个减震弹簧(2)，支撑杆(1)的上端通过若干个减震弹簧(2)与工作台(3)的下表面固定连接，所述工作台(3)的上方设有横板(6)，工作台(3)的上表面固定连接有两个平行设置的滑轨(5)，滑轨(5)的上端贯穿横板(6)并且与横板(6)的内部滑动连接，工作台(3)的上表面中间位置内部设有凹槽(13)，凹槽(13)的内部设有载体模具(12)，横板(6)中间位置内部设有螺纹孔，螺纹孔的内部设有丝杆(8)，丝杆(8)的上端固定连接转轮(7)，丝杆(8)的下端贯穿横板(6)上螺纹孔，所述横板(6)的下表面固定连接来两个关于丝杆(8)对称设置的连接杆(9)，连接杆(9)的下端固定连接有电动机(10)，电动机(10)的输出端连接主轴，主轴的另一端固定连接转盘(11)，转盘(11)的下表面连接有偏离转盘(11)圆心的研磨杆(4)，研磨杆(4)的下断固定连接研磨球(18)，研磨球(18)与载体模具(12)内部表面接触，所述工作台(3)的内部设有两个关于凹槽(13)对称的滑槽(15)，滑槽(15)与凹槽(13)的内部侧面连通，滑槽(15)的内部设有滑动杆(16)，滑槽(15)内部设有两个对称设置的第一固定块(17)，两个第一固定块(17)分别固定在滑槽(15)的内部上表面和下表面，滑动杆(16)靠近凹槽(13)一端上两侧壁固定连接两个对称设置的第二固定块(19)，另一端上表面固定连接拉杆(14)，拉杆(14)的上端贯穿工作台(3)的上表面并且与工作台(3)的内部滑动连接，第一固定块(17)和第二固定块(19)之间设有弹簧(21)，弹簧(21)的两端分别固定在第一固定块(17)和第二固定块(19)上，弹簧(21)环绕在滑动杆(16)的外表面，所述载体模具(12)的两侧面内部设有与滑动杆(16)相匹配的卡槽(20)。

2.根据权利要求1所述的便于安装的加工研磨硅片载体模具，其特征在于，所述支撑杆(1)的下端设有万向轮，万向轮上设有制动装置。

3.根据权利要求1所述的便于安装的加工研磨硅片载体模具，其特征在于，所述滑轨(5)的上端固定连接有限位块一。

4.根据权利要求1所述的便于安装的加工研磨硅片载体模具，其特征在于，所述丝杆(8)的下端固定连接有限位块二。

5.根据权利要求1所述的便于安装的加工研磨硅片载体模具，其特征在于，所述工作台(3)的内部设有与拉杆(14)像匹配的竖槽，拉杆(14)放置竖槽内部，拉杆(14)的上端与竖槽滑动连接。