[实用新型]预电离放电装置和放电激励气体激光装置

说明书

本实用新型提供一种预电离放电装置和放电激励气体激光装置，通过将用于固定保持部件的螺栓的轴向设置为与该保持部件夹持电介质管的方向一致，能够通过螺栓的轴向力来抵消电介质管受到的外力，使得电介质管始终保持固定，能够抑制由于外力等导致的电介质管的移位，从而保证了激光装置输出的稳定性。

技术领域

本实用新型涉及激光领域，尤其涉及一种预电离放电装置和放电激励气体激光装置。

背景技术

在放电激励气体激光装置中，通常需要设置为了促使气体主放电的点着而进行预电离的装置。例如，作为现有技术的专利文献1(JP2015-018910A)公开了一种预电离装置，图1是该现有技术的预电离装置的示意图。如图1所示，预电离装置100具有电介质管101、一对保持部件102、103、螺栓104以及金属基座105，其中，一对保持部件102、103夹持电介质管101，保持部件102、103与金属基座105连接，螺栓104沿着与保持部件102、103夹持电介质管101的方向(X方向)垂直的方向(Z方向)将保持部件102、103两者固定在一起。

应该注意，上面对技术背景的介绍只是为了方便对本实用新型的技术方案进行清楚、完整的说明，并方便本领域技术人员的理解而阐述的。不能仅仅因为这些方案在本实用新型的背景技术部分进行了阐述而认为上述技术方案为本领域技术人员所公知。

实用新型内容

本实用新型的发明人发现，在上述现有的预电离装置中，由于螺栓104沿着与保持部件102、103夹持电介质管101的方向(X方向)垂直的方向(Z方向)将保持部件102、103两者固定在一起，在保持部件102、103夹持电介质管101的方向(X方向)上，仅依靠保持部件102、103与螺栓104的摩擦力来保持固定。当电介质管101在X方向受到较大的作用力时，例如，当由于瞬间冲击等原因而导致电介质管101外侧的预电离外部电极对该电介质管101在X方向上产生大于该摩擦力的作用力时，电介质管101发生移位，电介质管101外侧的预电离外部电极与电介质管101之间将产生分离，导致主放电所必需的预电离放电变得不稳定，从而影响了激光装置输出的稳定性。

本实用新型实施例提供一种预电离放电装置和放电激励气体激光装置，将用于固定保持部件的螺栓的轴向设置为与该保持部件夹持电介质管的方向一致，能够通过螺栓的轴向力来抵消电介质管受到的外力，使得电介质管始终保持固定，能够抑制由于外力等导致的电介质管的移位，从而保证了激光装置输出的稳定性。

根据本实用新型实施例的第一方面，提供一种预电离放电装置，其设置在放电激励气体激光装置的激光腔室中，所述预电离放电装置具有：电介质管；预电离内部电极，其设置在所述电介质管的内侧；预电离外部电极，其设置在所述电介质管的外侧；第一保持部件和第二保持部件，所述第一保持部件和所述第二保持部件通过夹持的方式对所述电介质管进行保持；以及螺栓，其用于固定所述第一保持部件和所述第二保持部件，所述螺栓的轴向与所述第一保持部件和所述第二保持部件夹持所述电介质管的方向一致。

根据本实用新型实施例的第二方面，其中，所述螺栓的轴向与所述电介质管的轴向垂直。

根据本实用新型实施例的第三方面，其中，所述第一保持部件通过所述螺栓固定在所述第二保持部件上。

根据本实用新型实施例的第四方面，其中，所述第一保持部件通过所述螺栓固定在金属基座上，所述金属基座与所述第二保持部件连接。

根据本实用新型实施例的第五方面，其中，所述第一保持部件具有第一表面和第二表面，所述第一表面具有与所述电介质管的外表面相适应的部分，所述第二表面为平面，所述第二保持部件具有第三表面，所述第三表面为平面，所述电介质管设置在所述第一保持部件的所述第二表面上，所述第一保持部件的所述第一表面和所述第二保持部件的所述第三表面与所述电介质管的外表面抵接。

根据本实用新型实施例的第六方面，其中，所述预电离放电装置具有多个所述螺栓。