[实用新型]用于电弧离子镀的可调式引弧针装置

说明书

本实用新型公开了一种用于电弧离子镀的可调式引弧针装置，该装置包括主杆、棘牙推杆、棘爪锁定机构和引弧针，所述主杆的一侧为内螺纹盲孔结构，主杆的另一侧沿主杆轴向设置有异形孔，所述棘牙推杆滑动安装在主杆的异形孔中；所述棘爪锁定机构安装在主杆上，棘爪锁定机构与棘牙推杆相配合，实现棘牙推杆的定向锁定；在主杆的异形孔杆段的下杆壁上开设有一端通槽，引弧针的顶部透过该通槽固定安装在棘牙推杆上；通过棘牙推杆带动引弧针沿通槽移动，以实现引弧针的位置调节。

技术领域

本实用新型属于电弧离子镀技术领域，具体涉及一种用于电弧离子镀的可调式引弧针装置。

背景技术

在电弧离子镀膜设备镀膜过程中，通过引弧针触碰靶材产生放电进行引弧。镀膜过程中，引弧针位置与靶材表面距离过近，引弧针针尖温度不断升高，持续烧蚀的电弧会使针尖部分熔断，造成灭弧且无法再次起弧，使镀膜过程中断；引弧针位置与靶材距离过远，弧针与靶材之间放电不充分，无法起弧。随着靶材的不断消耗，靶材与引弧针之间的距离在不断地变化，这就需要不断调整引弧针的位置，使弧针与靶材之间放电充分顺利起弧且不会熔断弧针，由于每次靶材消耗程度难以度量，给引弧针位置的调整增加了很大的难度，这就需要一种便于调节的电弧离子镀引弧针调节装置。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术的不足，提供一种用于电弧离子镀的可调式引弧针装置。通过该装置能够方便快捷的调整引弧针的位置。

本实用新型是通过以下技术方案实现的：

一种用于电弧离子镀的可调式引弧针装置，该装置包括主杆、棘牙推杆、棘爪锁定机构和引弧针，所述主杆的一侧为内螺纹盲孔结构，主杆的另一侧沿主杆轴向设置有异形孔，所述棘牙推杆滑动安装在主杆的异形孔中；所述棘爪锁定机构安装在主杆上，棘爪锁定机构与棘牙推杆相配合，实现棘牙推杆的定向锁定；在主杆的异形孔杆段的下杆壁上开设有一端通槽，引弧针的顶部透过该通槽固定安装在棘牙推杆上；通过棘牙推杆带动引弧针沿通槽移动，以实现引弧针的位置调节。

在上述技术方案中，棘爪锁定机构由外套、十字杆、棘爪、回位弹簧和顶帽组成，外套通过螺栓安装在主杆杆壁上，十字杆竖直滑动安装在外套中，棘爪固定在十字杆底端，顶帽固定在十字杆顶端，回位弹簧套装在十字杆杆段上，回位弹簧的底端抵触棘爪，回位弹簧的顶端抵触外套的内缘，通过回位弹簧为棘爪提供向棘牙推杆的弹力，保证棘爪能够与棘牙推杆的棘牙配合，从而实现棘牙推杆的定向锁定；通过提升顶帽，顶帽可以带动十字杆和棘爪上升，从而使棘爪与棘牙推杆的棘牙解锁。

在上述技术方案中，所述引弧针从上至下依次包括顶部水平段、竖直段、弯折过度段和底部水平段，顶部水平段、竖直段、弯折过度段和底部水平段为一体式结构，材质为不锈钢；在底部水平段的终端内嵌有用于和靶材接触的钼材质的接触针。

在上述技术方案中，通槽沿主杆轴向的长度为2-3cm。

本实用新型的优点和有益效果为：

本实用新型结构简单、设计合理、使用方便，使用时，通过主杆的内螺纹盲孔将本装置固定在镀膜机的动作气缸的输出杆上，开启镀膜机，由气缸带动本装置往复振动，使引弧针触碰靶材产生放电进行引弧；当需要调近引弧针与靶面的距离时，向靶材方向推动棘牙推杆，棘牙推杆带动引弧针向靶面移动，移动到位后，通过棘爪锁定机构锁定棘牙推杆和引弧针的位置；当需要调远引弧针与靶面的距离时，提升顶帽，使棘爪与棘牙解锁，然后向远离靶材方向拉动棘牙推杆，棘牙推杆带动引弧针向远离靶面方向移动，移动到位后，放下顶帽，棘爪锁定机构锁定棘牙推杆和引弧针的位置。