[实用新型]真空蒸镀装置及其蒸发头

说明书

本实用新型提供了一种真空蒸镀装置及其蒸发头。所述蒸发头包括蒸发头腔体，还包括多个喷射方向不同且喷射方向互不相交的喷嘴，所述多个喷嘴与所述蒸发头腔体连通。实用新型采用蒸发头具有多个喷嘴，实现了多张需蒸镀基底同时蒸镀的目的。另外，本实用新型与现有技术相比缩小了掩模板的尺寸，可以减少或避免掩模板过大所引起的形变问题，同时使用缩小后的掩模板有利于提高对位精准度以及产品分辨率。

技术领域

本实用新型涉及真空蒸镀领域，尤其涉及一种真空蒸镀装置及其蒸发头。

背景技术

有机发光二极管(Organic Light Emitting Display，简称OLED)采用的是一项基于有机薄膜的自有光源显示屏技术，具有自发光、刷新速度快、低能耗、高对比度、低温特性好以及卷曲应用等优势，是一种非常有前景的显示技术，被称为“梦幻显示器”。随着OLED行业发展，对于OLED要求越来越高，如大尺寸、高分辨率、高稳定性、长寿命和低成本。

蒸镀是OLED制造工艺的重要组成部分，其是通过金属掩模板 (FMM，也称掩模板)的精密开孔将有机发光材料蒸镀到基板(例如玻璃基板)上。在显示屏的应用中，消费者越来越关注分辨率，特别是虚拟现实技术(Virtual Reality，简称VR)的问世，更是对分辨率提出了苛刻的要求，这就要求金属掩模板必须突破高分辨率难题。

另外，发明人研究发现，随着OLED向大尺寸方向的发展，如果采用现有的真空蒸镀装置则需要适应性配置大尺寸的掩模板，将需要更高的张网精度和蒸镀对准精度，同时避免出现掩模板过大所引起的形变问题。

此外，发明人还发现，现有的真空蒸镀装置在一个蒸镀室中一次只能实现一张需蒸镀基底的蒸镀，产能较低。

实用新型内容

本实用新型的目的之一在于，提供一种可以在一个蒸镀室中同时实现多张需蒸镀基底蒸镀，以提高产能的真空蒸镀装置及其蒸发头。

本实用新型的另一目的在于，提供一种可以有效改善掩模板形变引起的对位精度较低及产品分辨率较低的真空蒸镀装置及其蒸发头。

本实用新型的再一目的在于，提供一种可以改善蒸镀后的薄膜均匀性较差的真空蒸镀装置及其蒸发头。

为实现上述目的，本实用新型的第一方面提供一种真空蒸镀装置的蒸发头，用于向需蒸镀基底喷射蒸镀材料，包括蒸发头腔体，其特征在于，还包括多个喷射方向不同且喷射方向互不相交的喷嘴，所述多个喷嘴均与所述蒸发头腔体连通。

可选的，所述喷嘴的数量为两个，两个所述喷嘴的喷射方向相反。

可选的，所述蒸发头腔体是长方体、正方体、柱状结构、椭球状结构或球状结构，所述喷嘴是由多块挡板围成的两端开口的结构，所述喷嘴的一端固定在所述蒸发头腔体上，所述喷嘴的另一端朝向对应设置的需蒸镀基底，通过设置于所述蒸发头腔体上的通孔使所述多个喷嘴均与所述蒸发头腔体连通。

可选的，还包括设置于所述蒸发头腔体内的增压的组件，用于增加蒸镀材料的喷射强度。

本实用新型的第二方面提供一种真空蒸镀装置，所述真空蒸镀装置包括蒸发头。

可选的，所述真空蒸镀装置还包括：蒸发源，用于将固态蒸镀材料转换为气态蒸镀材料；蒸镀室，用于提供将气态蒸镀材料蒸镀到需蒸镀基底上的环境；以及输送管，连接所述蒸发源和所述蒸发头，用于向所述蒸发头输送气态蒸镀材料。

可选的，所述真空蒸镀装置还包括：蒸发头固定机构，用于固定蒸发头并可带动所述蒸发头移动；掩模板固定机构，用于固定掩膜板并可带动所述掩膜板移动；以及基底固定机构，用于固定需蒸镀基底并可带动所述需蒸镀基底移动。

可选的，所述每个喷嘴的喷射方向上对应设置有一个掩模板固定机构和一个基底固定机构。

可选的，所述掩模板、需蒸镀基底、蒸发头之间相互平行设置。