[实用新型]一种引弧点火装置及纳米材料制作设备有效
申请号: | 201721645684.6 | 申请日: | 2017-11-30 |
公开(公告)号: | CN207581920U | 公开(公告)日: | 2018-07-06 |
发明(设计)人: | 毕凯 | 申请(专利权)人: | 嘉兴岱源真空科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/35 | 分类号: | C23C14/35 |
代理公司: | 北京中政联科专利代理事务所(普通合伙) 11489 | 代理人: | 姚海波 |
地址: | 314100 浙江省嘉兴*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 点火针 拉杆 连接杆 点火装置 纳米材料 制作设备 原子球 靶台 引弧 点火 四连杆结构 溅射 成功率 平行 转动 脱离 | ||
1.一种引弧点火装置,其特征在于:所述引弧点火装置包括拉杆、杆套、四连杆结构、连接杆及点火针,所述拉杆位于杆套内,所述拉杆通过四连杆结构与连接杆连接,所述连接杆的第一端与点火针连接,所述四连杆结构包括延伸杆及短连杆,所述延伸杆与杆套连接,所述连接杆的第二端与延伸杆的末端转动连接,所述短连杆的第一端与拉杆转动连接,第二端与连接杆的中部转动连接。
2.如权利要求1所述的引弧点火装置,其特征在于:所述连接杆连接短连杆的连接点与连接杆的第一端之间的第一距离大于连接点与连接杆的第二端之间的第二距离。
3.如权利要求1所述的引弧点火装置,其特征在于:所述拉杆远离连接杆的一端设有手柄。
4.如权利要求3所述的引弧点火装置,其特征在于:所述手柄或拉杆外侧壁上沿轴向分布有若干凹槽,所述杆套的内侧壁设有至少一个与若干凹槽配合的定位凸块。
5.一种纳米材料制作设备,其特征在于:所述纳米材料制作设备包括磁控靶及如权利要求1-4任一项所述的引弧点火装置,所述磁控靶的最外侧具有靶台。
6.如权利要求5所述的纳米材料制作设备,其特征在于:所述引弧点火装置位于磁控靶的下方。
7.如权利要求6所述的纳米材料制作设备,其特征在于:所述延伸杆与靶台之间的垂直距离大于点火针的长度。
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