[实用新型]EBSD测试用样品台

说明书

本实用新型涉及材料研究和检验技术领域，尤其是一种EBSD测试用样品台。这种EBSD测试用样品台，包括样品台，所述样品台上设置有水平面，水平面的左端连接有向左上方向倾斜的第一斜面，第一斜面的左端连接有向左下方向倾斜的第二斜面，第一斜面和第二斜面垂直设置；所述水平面与第一斜面之间的夹角α为100～120°。本实用新型结构简单，取样方便，只需要将样品的一个侧面和测试面垂直，便于切割样品；样品台自带70°角度，无需大角度旋转，更换测试类型时无需反复调整样品台角度，只需要更换样品台；样品通过导电胶粘贴在第一斜面或第二斜面，便于样品安装，而且样品容易固定。

技术领域

本实用新型涉及材料研究和检验技术领域，尤其是一种在扫描电镜上用于进行电子背散射衍射测量的EBSD测试用样品台。

背景技术

在对金属靶材材料的电子显微镜分析检验中，需要EBSD技术来分析金属材料的晶粒取向。根据EBSD理论，在扫描电镜中进行EBSD测试时，样品测试面法线方向必须与入射电子束成70°的角度，所以就要求SEM样品台须进行高角度倾斜。

直接用扫描电镜样品台进行EBSD测量时，需要样品测试面和背面平行。样品背面用导电胶带粘贴在样品台上进行固定，然后将样品台旋转70°。

这样对于测试工作有2个主要缺点：

1)、制样费力，需要将测试面与反面磨抛成平行面，制样难度高。不平行时，导致70°角度不准，引起测量误差；

2)、样品不容易固定牢。固定不牢，会造成测量时图像的漂移，影响测量结果的准确性。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是：克服现有技术中之不足，提供一种EBSD 测试用样品台。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种EBSD测试用样品台，包括样品台，所述样品台上设置有水平面，水平面的左端连接有向左上方向倾斜的第一斜面，第一斜面的左端连接有向左下方向倾斜的第二斜面，第一斜面和第二斜面垂直设置；所述水平面与第一斜面之间的夹角α为100～ 120°。

进一步地，所述的水平面与第一斜面之间的夹角α为110°。

进一步地，所述的样品台底端连接有与SEM样品座连接的底座。

本实用新型的有益效果是：本实用新型结构简单，具有以下优点：

(1)、取样方便，只需要将样品的一个侧面和测试面垂直，便于切割样品；

(2)、样品台自带70°角度，无需大角度旋转，更换测试类型时无需反复调整样品台角度，只需要更换样品台；

(3)、样品通过导电胶粘贴在第一斜面或第二斜面，便于样品安装，而且样品容易固定。

附图说明

下面结合附图和实施方式对本实用新型进一步说明。

图1是本实用新型的结构示意图。

图中 1.底座，2.样品台，3.水平面，4.第一斜面，5.第二斜面。

具体实施方式

现在结合附图对本实用新型作进一步的说明。这些附图均为简化的示意图仅以示意方式说明本实用新型的基本结构，因此其仅显示与本实用新型有关的构成。

如图1所示的EBSD测试用样品台，包括样品台2，样品台2上设置有水平面3，水平面3的左端连接有向左上方向倾斜的第一斜面4，第一斜面4的左端连接有向左下方向倾斜的第二斜面5，第一斜面4和第二斜面5垂直设置；所述水平面3与第一斜面4之间的夹角α为110°，样品台2底端连接有与SEM 样品座连接的底座1。