[实用新型]芯片测试治具与系统

权利要求书

1.一种芯片测试治具，包括能够相对移动的载台与测试组件，所述载台用于放置至少一待测芯片，所述测试组件用于按压所述待测芯片以进行测试；其特征在于，所述芯片测试治具还包括压力检测装置和行程检测装置的至少其中之一；

当所述芯片测试治具包括所述压力检测装置时，所述压力检测装置设置于所述载台上对应于所述待测芯片位置，所述压力检测装置用于输出所述待测芯片受所述测试组件按压的压力值，以供控制装置在判定出所述压力值异常时触发保护机制；

当所述芯片测试治具包括所述行程检测装置时，所述行程检测装置固定在所述测试组件或所述载台上，且用于输出所述测试组件与所述载台之间的行程信息，以供控制装置在判定出所述行程信息异常时触发保护机制。

2.如权利要求1所述的芯片测试治具，其特征在于，当所述芯片测试治具包括所述压力检测装置和所述行程检测装置时，所述压力检测装置输出所述压力值且所述行程检测装置输出所述行程信息，以供所述控制装置在判断出所述压力值与所述行程信息的对应关系异常时触发所述保护机制。

3.如权利要求1所述的芯片测试治具，其特征在于，当所述芯片测试治具包括所述压力检测装置时，所述压力检测装置包括多个压力检测单元；所述压力检测单元的数目与所述待测芯片的边数相等，各所述压力检测单元分别设置在所述载台上对应于所述待测芯片的各边的位置。

4.如权利要求1或2所述的芯片测试治具，其特征在于，当所述芯片测试治具包括所述行程检测装置时，所述行程检测装置为距离传感器。

5.如权利要求1或2所述的芯片测试治具，其特征在于，当所述芯片测试治具包括所述行程检测装置时，所述行程检测装置包括第一行程开关和第二行程开关；

当所述行程检测装置固定于所述测试组件时，所述第一行程开关在接触所述载台时被触发，所述第二行程开关在接触所述载台时被触发；当所述行程检测装置固定于所述载台时，所述第一行程开关接触所述测试组件时被触发，所述第二行程开关在接触所述测试组件时被触发；

在所述测试组件与所述载台相对移动的过程中，所述第一行程开关较所述第二行程开关先被触发；所述第一行程开关被触发且所述第二行程开关未被触发时，所述行程检测装置输出表征行程状态正常的信息。

6.如权利要求1所述的芯片测试治具，其特征在于，所述载台的表面覆盖有第一缓冲层，所述待测芯片放置在所述第一缓冲层上。

7.如权利要求1所述的芯片测试治具，其特征在于，所述测试组件包括夹具、固定于所述夹具的测试板以及弹性测试头，所述弹性测试头的数目与所述待测芯片数目相等；所述弹性测试头安装在所述测试板上，且用于与所述待测芯片接触。

8.如权利要求7所述的芯片测试治具，其特征在于，所述测试组件还包括安装在所述夹具上且面对所述载台的至少一限位块，所述行程检测装置安装在所述限位块上且面对所述载台、或者所述行程检测装置安装在所述载台上且面对所述限位块，所述行程信息为所述限位块与所述载台之间的行程信息。

9.如权利要求7所述的芯片测试治具，其特征在于，所述弹性测试头通过第二缓冲层安装在所述测试板上。

10.如权利要求7所述的芯片测试治具，其特征在于，所述弹性测试头包括固定于所述测试板的插座以及多根弹性探针；各所述弹性探针的第一端分别固定于所述插座，各所述弹性探针的第二端伸出所述插座且用于与所述待测芯片接触。

11.如权利要求10所述的芯片测试治具，其特征在于，所述插座面对所述载台的表面开设有容置槽，且所述容置槽内固定有第三缓冲层，各所述弹性探针的第一端均通过所述第三缓冲层固定于所述插座。

12.如权利要求10所述的芯片测试治具，其特征在于，所述插座面对所述载台的表面覆盖有第四缓冲层。