[实用新型]收集颗粒的采样装置

说明书

本实用新型公开了一种收集颗粒的采样装置，所述采样装置包括：采样部件以及主机体，所述采样部件包括采样盒和至少一个过滤膜，所述采样盒具有进口和出口，所述过滤膜位于所述进口和所述出口之间，所述主机体内设有引风部件，所述引风部件与所述采样盒的出口连接，以使气流自所述采样盒的进口向所述采样盒的出口流动。根据本实用新型实施例的收集颗粒的采样装置，通过设置采样部件以及主体机，使采样装置可以通过引风部件吸入待采样空间内的空气，并在采样部件处，通过采样盒中的过滤膜对空气进行过滤，以使颗粒被截留在过滤膜上，进而通过采样装置对待采样空间内的颗粒进行采集。

技术领域

本实用新型涉及颗粒采样技术领域，具体而言，涉及一种收集颗粒的采样装置。

背景技术

相关技术中，行业内对显示面板或半导体产品的制造精度要求越来越高，显示面板或半导体产品通常是在无尘室内进行组装生产，无尘室内的细小的颗粒(如微粒)会沉积在显示面板上，造成最终产出的显示面板或者半导体产品出现异物不良(particle不良)，为此，急需对无尘室内的颗粒成分进行分析。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型提出一种可以收集颗粒的采样装置。

根据本实用新型实施例的收集颗粒的采样装置包括：采样部件以及主机体，所述采样部件包括采样盒和至少一个过滤膜，所述采样盒具有进口和出口，所述过滤膜位于所述进口和所述出口之间，所述主机体内设有引风部件，所述引风部件与所述采样盒的出口连接，以使气流自所述采样盒的进口向所述采样盒的出口流动。

根据本实用新型实施例的收集颗粒的采样装置，通过设置采样部件以及主机体，使采样装置能够通过引风部件吸入待采样空间内的空气，并在采样部件处，通过过滤膜对空气进行过滤，以使颗粒被截留在过滤膜上，进而通过采样装置对待采样空间内的颗粒进行采集。

根据本实用新型的一些实施例，所述过滤膜为多个，多个所述过滤膜依次叠加设置，在所述多个过滤膜中，滤孔的尺寸最大的过滤膜邻近所述采样盒的进口设置，滤孔的尺寸最小的过滤膜邻近所述采样盒的出口设置，各个过滤膜的滤孔的尺寸依次递减。

在一些实施例中，所述过滤膜的滤孔的直径为0.12um-100um。

进一步地，所述采样部件还包括支撑架，所述支撑架设于所述采样盒内，所述过滤膜被通过所述支撑架固定连接在所述采样盒内。

在一些实施例中，所述采样部件还包括上盖体，所述上盖体在所述采样盒的进口与所述采样盒可拆卸地连接，以打开或封闭所述采样盒的进口。

根据本实用新型的一些实施例，所述采样部件还包括弹性阀片，所述弹性阀片连接在所述采样盒的出口，所述弹性阀片被配置为常封闭所述采样盒的出口且在受到所述引风部件的抽吸力时打开所述出口。

根据本实用新型的一些实施例，所述采样装置还包括下盖体，所述下盖体被配置为在所述采样部件与所述主机体分离时在所述采样盒的出口与所述采样盒可拆卸地相连。

进一步地，所述主机体包括：机壳和过滤器，所述机壳具有进气管和排气管，所述采样盒的出口所在端与所述进气管连接，所述引风部件的一端与所述进气管连接，所述过滤器位于所述机壳内，所述过滤器的一端与所述引风部件的另一端连接，所述过滤器的另一端与所述排气管连接。

在一些实施例中，所述机壳内还设有控制器，所述引风部件与所述控制器电连接，所述机壳上设有分别与所述控制器电连接的外接电源连接部以及蓄电池安装部。

可选地，所述主机体还包括与所述控制器电连接的电源开关、操作屏，所述操作屏被配置为将经所述操作屏输入的定时信息发送给控制器，所述控制器在到达所述定时时间后控制所述引风部件停机。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。