[实用新型]用于半导体黄光工艺的照明设备

说明书

本揭示提供一种用于半导体黄光工艺的照明设备，包含：一盒体，具有一视窗开口；一灯具组，设置在所述盒体内部，用于提供一照明光线；以及一滤光板，装设在所述视窗开口，用于直接承接所述照明光线的照射并吸收通过所述滤光板的所述照明光线中波长小于500纳米以下的光线，以让过滤后的光线用在半导体黄光工艺机台上。

技术领域

本揭示涉及一种照明设备，特别是涉及一种用于半导体黄光工艺的照明设备。

背景技术

在现今的黄光工艺中，主要是采用能发出黄光波段的灯管作为照明设备。所述类型的灯管是通过将一般的白炽灯管外围包覆一层滤光膜而制成。然而，由于所述滤光膜的包覆，导致灯管的整体散热能力下降。因此，在长时间的使用下，持续地通电流而产生的热能会被逐渐累积，进而在灯管的端部产生热点，导致灯管存在容易烧毁的问题。

另一方面，在半导体工艺的无尘室中，灯管通常是装设在盒体内。盒体在面对机台的照射面是设置为密封不可开启的结构，并且在照射面的另一面设置有可开启的门板。设备人员是通过开启门板以进行灯管的更换作业。一般而言，为了保持无尘室的洁净度，盒体会被嵌设在无尘室的天花板上，使得盒体的门板会位在无尘室上方的夹层空间内，进而可避免门板开启时发生粉尘掉落而污染产品的问题。也就是说，在每次的灯管更换作业时，设备人员必须进入所述夹层空间内，导致灯管更换作业存在一定的复杂度。再者，当灯管存在损坏频繁的问题时，意味着设备人员必须频繁地进行灯管更换作业，导致人员工时的耗费。

再者，为了确保产品的品质，灯管必须被滤光膜完全且确实地包覆，以避免泄漏出白光。因此，所述类型的灯管必须采用特殊的加工制成，导致存在造价高昂的问题。

有鉴于此，有必要提供一种用于半导体黄光工艺的照明设备，以解决现有技术所存在的问题。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本揭示的目的在于提供一种用于半导体黄光工艺的照明设备，通过将滤光结构组合在照明设备的盒体上，以提供生产所需的黄光波段的照明光线，藉此，可不须采用外围包覆有滤光膜的灯管，进而可避免灯管容易烧毁、频繁更换灯管导致工时耗费、以及成本高昂等问题。

为达成上述目的，本揭示提供一种用于半导体黄光工艺的照明设备，包含：一盒体，具有一视窗开口；一灯具组，设置在所述盒体内部，用于提供一照明光线；以及一滤光板，装设在所述视窗开口，用于直接承接所述照明光线的照射并吸收通过所述滤光板的所述照明光线中波长小于500纳米以下的光线，以让过滤后的光线用在半导体黄光工艺机台上。

在本揭示其中之一优选实施例中，所述滤光板为一黄色基板。

在本揭示其中之一优选实施例中，所述照明设备还包含一玻璃盖板，装设在所述视窗开口且与所述滤光板叠置，其中所述滤光板相较于所述玻璃盖板位在靠近所述灯具组的一侧。

在本揭示其中之一优选实施例中，所述照明设备还包含一固定件，用于固定所述滤光板的位置。

在本揭示其中之一优选实施例中，所述固定件为一L型压片，并且所述L型压片的一侧边固定在所述盒体的侧壁，以及所述L型压片的另一侧边与所述滤光板接触，从而使所述滤光板夹设在所述L型压片与所述玻璃盖板之间。

在本揭示其中之一优选实施例中，所述滤光板包含一透明基板和一滤光膜，所述滤光膜贴附在所述透明基板上，并且所述滤光膜相较于所述透明基板位在靠近所述灯具组的一侧。

在本揭示其中之一优选实施例中，所述透明基板为一玻璃盖板。

在本揭示其中之一优选实施例中，所述透明基板为一塑胶基板。

在本揭示其中之一优选实施例中，所述滤光膜包含一陶瓷研磨层，用于吸收所述照明光线中波长小于380纳米以下的紫外光线。

在本揭示其中之一优选实施例中，所述陶瓷研磨层的厚度介于5纳米至50纳米之间。