[实用新型]一种新型光束扫描的装置有效
申请号: | 201721652060.7 | 申请日: | 2017-12-01 |
公开(公告)号: | CN207764474U | 公开(公告)日: | 2018-08-24 |
发明(设计)人: | 魏安琨 | 申请(专利权)人: | 合肥芯欣智能科技有限公司 |
主分类号: | G02B26/10 | 分类号: | G02B26/10;G01S7/02 |
代理公司: | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人: | 冯子玲 |
地址: | 230000 安徽省合肥市高新区*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 柱透镜 透镜 平行光 本实用新型 反射镜系统 新型光束 反射镜 透镜组 扫描 半导体激光器线阵 半导体激光器 整体光学结构 汇聚 大反射镜 光束重排 角度放大 下降问题 小反射镜 准直系统 出射 转化 | ||
1.一种新型光束扫描的装置,其特征在于:包括MEMS反射镜(003),透镜组和由反射镜系统组成的光束重排组;
所述透镜组包括透镜(001)、第一柱透镜(002)、第二柱透镜(004);
所述透镜(001)为半导体激光器线阵准直系统,所述半导体激光器发出的光通过透镜(001)转化为平行光出射进入第一柱透镜(002);所述第一柱透镜(002)将平行光汇聚到MEMS反射镜,所述第一柱透镜(002)通过第二柱透镜(004)重新汇聚成平行光进入第二柱透镜(004);
所述反射镜系统包括由2大6小反射镜组成;所述2大反射镜包括将光束分到两个方向的第一反射镜(010)和第二反射镜(011);所述6小反射镜包括第三反射镜(012)、第四反射镜(013)、第五反射镜(014)、第六反射镜(015)、第七反射镜(016)和第八反射镜(017);
所述第三反射镜(012)、第四反射镜(013)、第五反射镜(014)依次位于第一反射镜(010)的一侧,所述第六反射镜(015)、第七反射镜(016)和第八反射镜(017)依次位于第二反射镜(011)的一侧;同侧相邻两反射镜的夹角在10-20°的范围。
2.根据权利要求1所述的一种新型光束扫描的装置,其特征在于,所述MEMS振镜提供±5°的机械扫描角度实现20°的光学扫描。
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