[实用新型]一种硅棒切片机的切割液冷却装置

说明书

本实用新型公开了一种硅棒切片机的切割液冷却装置，包括箱体，所述箱体内设置有冷却间和设备间，所述冷却间设置于设备间顶端，所述冷却间和设备间之间设置有隔板，所述冷却间内设置有外盘冷却管，所述外盘冷却管内设置有内盘冷却管，所述外盘冷却管顶端一侧设置有连接管，所述连接管一端延伸至外盘冷却管内，所述箱体顶部设置有顶板。本实用新型通过外盘冷却管和内盘冷却管均呈螺旋盘式设置，使冷凝器内的冷却液经过外盘冷却管和内盘冷却管时，通过热交换的原理，带走切割液中的温度，从而达到冷却的效果，并且通过杂质隔离网的设置，可以有效的去除冷却液内的颗粒状杂质，提高了冷却效果，而且结构简单，操作方便，冷却效果优良。

技术领域

本实用新型涉及冷却技术领域，特别涉及一种硅棒切片机的切割液冷却装置。

背景技术

在如今的半导体行业，硅片切割是常见的生产环节。硅片切割过程中会用到切割液，但是在硅片切割过程中会产生大量热，导致切削后的切割液温度升高。因为硅片切割过程中对切割液的温度有严格要求，因此切割液必须进行冷却再循环利用。另外在切割过程中会有一些颗粒物等杂志进入切割液中，而现今的切割液冷却装置都是采用板式换热器，不仅冷却效果低而且不容易清理杂质，从而对产品质量造成影响。因此，发明一种硅棒切片机的切割液冷却装置来解决上述问题很有必要。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种硅棒切片机的切割液冷却装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种硅棒切片机的切割液冷却装置，包括箱体，所述箱体内设置有冷却间和设备间，所述冷却间设置于设备间顶端，所述冷却间和设备间之间设置有隔板，所述冷却间内设置有外盘冷却管，所述外盘冷却管内设置有内盘冷却管，所述外盘冷却管顶端一侧设置有连接管，所述连接管一端延伸至外盘冷却管内，所述箱体顶部设置有顶板，所述顶板顶端设置有伸缩电机，所述伸缩电机输出端设置有伸缩杆，所述伸缩杆底端贯穿顶板，且延伸至冷却间内，所述伸缩杆底端设置有杂质隔离网，所述设备间内设置有冷凝器，所述冷凝器输出端设置有冷却液输出管，所述冷却液输出管输出端与外盘冷却管输入端连接，所述冷凝器输入端设置有冷却液回流管，所述冷却液回流管输入端与内盘冷却管输出端连接。

优选的，所述冷却液输出管设置有泵，所述泵设置于设备间内，所述冷却液输出管连接端设置有控温阀，所述控温阀一端贯穿设备间一侧壁，且延伸至箱体外壁一侧。

优选的，所述隔板顶部设置有凹槽，所述凹槽延伸至隔板内部，所述凹槽内设置有温度传感器，所述顶板顶部设置有智能控制器，所述智能控制器设置于伸缩电机一侧。

优选的，所述智能控制器包括单片机和液晶显示屏，所述液晶显示屏与单片机电性连接，所述温度传感器与单片机电性连接。

优选的，所述杂质隔离网设置于内盘冷却管内壁一侧。

优选的，所述外盘冷却管和内盘冷却管均呈螺旋盘式设置。

优选的，所述温度传感器型号设置为DS18B20 TO-92。

本实用新型的技术效果和优点：本实用新型通过外盘冷却管和内盘冷却管均呈螺旋盘式设置，使冷凝器内的冷却液经过外盘冷却管和内盘冷却管时，通过热交换的原理，带走切割液中的温度，从而达到冷却的效果，并且通过杂质隔离网的设置，可以有效的去除冷却液内的颗粒状杂质，提高了冷却效果，而且结构简单，操作方便，冷却效果优良。

附图说明

图1为本实用新型整体侧视剖面结构示意图。

图2为本实用新型俯视剖视结构示意图。

图中：1箱体、2冷却间、3设备间、4隔板、5外盘冷却管、6内盘冷却管、7连接管、8顶板、9伸缩电机、10伸缩杆、11杂质隔离网、12冷凝器、13冷却液输出管、14冷却液回流管、15泵、16控温阀、17温度传感器、18智能控制器。