[实用新型]一种气体泄漏安全装置以及气体泄漏安全系统

说明书

本实用新型提供一种气体泄漏安全装置以及气体泄漏安全系统，涉及半导体气体防护技术领域，该气体泄漏安全系统包括尾气处理设备、备用管和气体泄漏安全装置，该气体泄漏安全装置包括输气保护管路和压力监控设备，输气保护管路包括内管和外管，内管的内部具有输气管道，外管套设在内管外，且内管的外周面和外管的内周面形成监测管道，输气管道用于输送气体，监测管道与输气管道相互隔绝，监测管道内的气体压强小于输气管道内的气体压强，压力监控设备连接于外管，用于采集监测管道内的气体压强。相较于现有技术，本实用新型提供的一种气体泄漏安全装置，能够及时发现泄漏情况并能够阻止泄漏气体向外扩散，提高了生产安全性。

技术领域

本实用新型涉及半导体气体防护技术领域，具体而言，涉及一种气体泄漏安全装置以及气体泄漏安全系统。

背景技术

半导体行业用的特殊气体及剧毒化学品特别多，经常会有一些渗漏，腐蚀、管道击穿和泄漏现象常有发生，轻者造成能源浪费、污染环境，尤其不能马上控制处理泄漏，重者直接导致更多的人员伤亡，或公司直接破产关门。

在现有技术中，对于管道的泄漏往往是采取对管道的壁厚、焊接点等作重点监控，但是这种处理方式并不保险，当发生泄漏时无法阻止管道内的气体的扩散，有巨大的安全隐患。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种气体泄漏安全装置，当管道内气体发生泄漏时，能够及时发现并能够防止泄漏气体的扩散，提高了生产的安全性。

本实用新型的另一目的在于提供一种气体泄漏安全系统，能够及时发现并阻止泄漏气体的扩散，同时能够对已经泄漏的气体安全地进行尾气处理，十分安全可靠。

本实用新型是采用以下的技术方案来实现的。

一种气体泄漏安全装置，包括输气保护管路和压力监控设备，输气保护管路包括内管和外管，内管的内部具有输气管道，外管套设在内管外，且内管的外周面和外管的内周面形成监测管道，输气管道用于输送气体，监测管道与输气管道相互隔绝，监测管道内的气体压强小于输气管道内的气体压强，压力监控设备连接于外管，用于采集监测管道内的气体压强。

进一步地，监测管道内为负压。

进一步地，内管与外管均通过焊接制成。

进一步地，外管的焊接点处设置有连接护套。

进一步地，压力监控设备包括压力表和监控阀门，压力表连接于外管，用于采集气体压强，监控阀门设置在外管和压力表之间。

进一步地，压力监控设备还包括报警器，报警器连接于压力表，用于依据气体压强发出报警信号。

进一步地，气体泄漏安全装置还包括远程控制设备和储气设备，输气保护管路连接于储气设备，远程控制设备分别与压力监控设备和储气设备通信连接，用于接收气体压强并依据气体压强关闭储气设备的出气口。

一种气体泄漏安全系统，包括尾气处理设备、备用管和气体泄漏安全装置，该气体泄漏安全装置包括输气保护管路和压力监控设备，输气保护管路包括内管和外管，内管的内部具有输气管道，外管套设在内管外，且内管的外周面和外管的内周面形成监测管道，输气管道用于输送气体，监测管道与输气管道相互隔绝，监测管道内的气体压强小于输气管道内的气体压强，压力监控设备连接于外管，用于采集监测管道内的气体压强。备用管的一端连接于输气保护管路并与监测管道连通，另一端连接于尾气处理设备。

进一步地，备用管靠近输气保护管路的一端设置有通气阀门，备用管靠近尾气处理设备的一端设置有第一尾气处理阀门。

进一步地，气体泄漏安全系统还包括用气设备，用气设备与输气保护管路连接，尾气处理设备与用气设备连接，且尾气处理设备和用气设备之间设置有第二尾气处理阀门。

本实用新型具有以下有益效果：