[实用新型]一种多通道式气体分析仪

权利要求书

1.一种多通道式气体分析仪，其特征在于，包括：气路系统、检测系统、信号系统和控制系统；

所述气路系统与所述控制系统连接，使得所述控制系统控制所述气路系统的气体的流动情况；

所述气路系统与所述检测系统管道连接；

其中，所述检测系统包括SO₂F₂检测部件、H₂S检测部件、SO₂检测部件和CO检测部件，所述SO₂F₂检测部件、所述H₂S检测部件、所述SO₂检测部件和所述CO检测部件相互通过所述气路系统管道连接；

所述信号系统与所述检测系统电连接，使得所述信号系统获得所述检测系统检测得到的气体信息，并输出气体的检测结果。

2.根据权利要求1所述的多通道式气体分析仪，其特征在于，所述气路系统包括进气管道、出气管道和内部气体管道；

所述进气管道与所述多通道式气体分析仪的进气口连接；

所述出气管道与所述多通道式气体分析仪的出气口连接；

所述SO₂F₂检测部件、所述H₂S检测部件、所述SO₂检测部件和所述CO检测部件相互通过所述内部气体管道连接。

3.根据权利要求2所述的多通道式气体分析仪，其特征在于，所述气路系统还包括压力表和回收气瓶；

所述压力表与被测气体连接；

所述回收气瓶与所述出气管道连接，使得所述回收气瓶回收被测气体。

4.根据权利要求1所述的多通道式气体分析仪，其特征在于，所述检测系统还包括备用检测部件接口，用于连接检测其他气体的备用检测部件。

5.根据权利要求4所述的多通道式气体分析仪，其特征在于，所述其他气体为H₂、CO₂、CF₄、SOF₂或COS。

6.根据权利要求2所述的多通道式气体分析仪，其特征在于，所述控制系统包括气体流量阀和气体流量控制器；

所述气体流量阀设置在所述进气管道和所述出气管道上，所述气体流量控制器与所述气体流量阀连接，使得气体流量控制器通过所述气体流量阀控制所述气路系统的气体的流动情况。

7.根据权利要求1所述的多通道式气体分析仪，其特征在于，所述SO₂F₂检测部件包括SO₂F₂电化学传感器；

所述SO₂F₂电化学传感器包括检测SO₂F₂的电解质、电极、透气膜和过滤器；

所述电极具体为三电极体系；所述检测SO₂F₂的电解质与所述三电极体系连接；

所述检测SO₂F₂的电解质通过所述过滤器与所述透气膜连接。

8.根据权利要求1所述的多通道式气体分析仪，其特征在于，所述信号系统包括SO₂F₂信号处理器；

所述SO₂F₂信号处理器与所述SO₂F₂检测部件电连接，使得所述SO₂F₂信号处理器获得所述SO₂F₂检测部件的SO₂F₂电信号，且将所述SO₂F₂电信号转化为可识别的电信号并发送到终端。

9.根据权利要求8所述的多通道式气体分析仪，其特征在于，所述终端为计算机或/和显示器。

10.根据权利要求1所述的多通道式气体分析仪，其特征在于，所述H₂S检测部件、所述SO₂检测部件和所述CO检测部件分别为H₂S电化学传感器、电化学传感器、SO₂电化学传感器、CO电化学传感器。