[实用新型]一种新型结构的石墨舟片

权利要求书

1.一种新型结构的石墨舟片，包括石墨舟片本体，其特征在于，在所述石墨舟片本体的正反两面上沿其长度方向对称设有多个硅片定位腔体，在所述硅片定位腔体的周围设有多个用于将硅片卡接在硅片定位腔体上的卡点，所述卡点的横截面为扇形结构，所述硅片定位腔体的上边缘与石墨舟片本体的上边缘之间的夹角为2-4°。

2.如权利要求1所述的一种新型结构的石墨舟片，其特征在于：所述硅片定位腔体的上边缘与石墨舟片本体的上边缘之间的夹角为3°。

3.如权利要求1所述的一种新型结构的石墨舟片，其特征在于：所述卡点的数量为3个，分别为第一卡点、第二卡点和第三卡点，所述第一卡点设置在硅片定位腔体一侧的下部上，所述第二卡点设置在硅片定位腔体另一侧的上部上，所述第三卡点设置在硅片定位腔体下侧且靠近第一卡点的一侧上。

4.如权利要求1所述的一种新型结构的石墨舟片，其特征在于：所述硅片定位腔体的横截面为正方形。