[实用新型]一种振动辅助研抛装置

说明书

本实用新型涉及一种振动辅助研抛装置，属于超精密研抛技术领域，所述的压电叠堆一和压电叠堆二用压电预紧螺钉预紧在柔性铰链研抛平台上，电容式位移测量挡板一和电容式位移测量挡板二由挡板螺钉安装在柔性铰链研抛平台上，电容式位移测量传感器一和电容式位移测量传感器二紧固在传感器夹座一和传感器夹座二上，传感器夹座一和传感器夹座二由夹座螺钉安装在柔性铰链研抛平台上，研抛头夹座由研抛螺钉安装在柔性铰链研抛平台，研抛头装在研抛头夹座内，本装置的优点是装置结构简单，拆卸方便，易于实现，优化后柔性铰链研抛平台做有规则的研抛运动，提高了加工精度，造价低，该装置大大提高了以难加工材料作为被加工工件的表面精度。

技术领域

本实用新型属于超精密研抛加工领域，尤指一种振动辅助研抛装置。

背景技术

随着科技的发展，工业发展迅速，随之对精密加工的要求也日益严苛并渗透到各个行业例如机械行业、电子制造、冶金行业等，其中有些特殊材料对其表面的加工精度要求更为严格。研抛作为一种超精密的加工方法也被广泛应用，尤其在加工难加工材料时优势更为突出。

振动辅助研抛可以克服传统研抛方法中的一些不足，该方法利用压电驱动器激励获得规则的振动轨迹，并在松散磨料和研抛工具的共同作用下完成对精密模具表面的材料去除。在现有的振动辅助研抛方法中，研抛头是无需高速转动的，这不仅有利于在研抛过程中保证研抛力的恒定，而且能够用于具有更小尺寸结构的模具。现有研究表明：在保证较高研抛效率的情况下，振动辅助研抛能够提高研抛工件的表面粗糙度和面形精度。

发明内容

本新型提供一种振动辅助研抛装置，用以解决难加工材料的表面的加工精度问题，装置结构简单，拆卸方便，易于实现，优化后柔性铰链研抛平台做有规则的研抛运动，提高了加工精度，造价低，该装置大大提高了以难加工材料作为被加工工件的表面精度。

所述的一种振动辅助研抛装置，其特征在于，包括压电叠堆一、压电叠堆二、压电预紧螺钉、柔性铰链研抛平台、电容式位移测量挡板一、电容式位移测量挡板二、挡板螺钉、电容式位移测量传感器一、电容式位移测量传感器二、传感器夹座一、传感器夹座二、夹座螺钉、研抛头夹座、研抛螺钉、研抛头，其中压电叠堆一和压电叠堆二用压电预紧螺钉预紧在柔性铰链研抛平台上，电容式位移测量挡板一和电容式位移测量挡板二由挡板螺钉安装在柔性铰链研抛平台上，电容式位移测量传感器一和电容式位移测量传感器二紧固在传感器夹座一和传感器夹座二上，传感器夹座一和传感器夹座二由夹座螺钉安装在柔性铰链研抛平台上，研抛头夹座由研抛螺钉安装在柔性铰链研抛平台，研抛头卡在研抛头夹座内。

所述的一种振动辅助研抛装置，其特征在于所述的柔性铰链研抛平台包括直板形柔性铰链组，直圆形柔性铰链组，柔性铰链研抛平台主体，柔性铰链研抛平台头，加强板，深孔螺钉，固定螺钉所述的柔性铰链研抛平台通过深孔螺钉安装在五轴气浮平台的主轴上，前端上下对称布置有优化后的直板形柔性铰链组，柔性铰链研抛平台头与柔性铰链研抛平台主体通过直圆形柔性铰链相连，加强板通过固定螺钉安装在柔性铰链研抛平台上。

所述的一种振动辅助研抛装置，其特征在于所述的研抛头夹座包括研抛头夹座帽、研抛头夹座体、卡簧，研抛头夹座体通过研抛螺钉预紧在柔性铰链研抛平台头上，研抛头夹座帽和研抛头夹座体螺纹配合，卡簧装在研抛头夹座体内，靠研抛头夹座帽预紧力将研抛头紧固在研抛头夹座内。

附图说明

图1：本实用新型的整体轴侧图；

图2：本实用新型的整体轴侧图；

图3：柔性铰链研抛平台的轴侧图；

图4：柔性铰链研抛平台的俯视图；

图5：本实用新型的研抛头夹座剖视图。