[实用新型]一种中高温集管内金属管真空除气装备

说明书

本实用新型公开了一种中高温集管内金属管真空除气装备，包括除气腔体，除气腔体内部设有屏蔽板，除气腔体的外壳与屏蔽板之间设有铠装电热丝，除气腔体的左端转动连接有腔体端盖，除气腔体的前后侧面分别设有真空分子泵和真空机械泵，除气腔体的底部连接有氮气充气系统，除气腔体的顶部连接有气体分配器，气体分配器通过热交换器和风泵连接到除气腔体的右侧，除气腔体的左侧设有上下料拖车，上下料拖车上设有钢管托盘。本实用新型的有益效果：能够实现中高温集热管内金属管的除气，使其达到真空度指标，满足中高温集热管内金属管镀膜的物理设计要求。

技术领域

本实用新型涉及一种除气装置，具体来说涉及一种中高温集管内金属管真空除气装备。

背景技术

采用真空炉高温除气能够迅速、有效地将溶解在不锈钢管材料内部的气体如H₂、CO₂、CO等减少为1/100，1/10和1/5，对除H₂效果尤其明显；而超高真空系统中残余气体的主要成分就是H₂(在10-9Pa的真空系统中，H₂占90％以上)，因此，采用真空炉高温除气工艺对真空元器件进行处理，可以达到HIRFL—CSR超高真空系统获得3×10-9Pa真空度指标，满足了不锈钢管溅射镀膜物理设计的要求，因此除气处理非常必要。

中高温集热管属于比较新兴的光热产业内的产品，目前尚无专门解决中高温集热管内金属管镀膜的成熟的专项装备。

实用新型内容

针对相关技术中的问题，本实用新型提出一种中高温集管内金属管真空除气装备。

为实现上述技术目的，本实用新型的技术方案是这样实现的：

一种中高温集管内金属管真空除气装备，包括除气腔体，所述除气腔体内部设有屏蔽板，所述除气腔体的外壳与屏蔽板之间设有铠装电热丝，所述除气腔体的左端转动连接有腔体端盖，所述除气腔体的前后侧面分别设有真空分子泵和真空机械泵，所述除气腔体的底部连接有氮气充气系统，所述除气腔体的顶部连接有气体分配器，所述气体分配器通过热交换器和风泵连接到除气腔体的右侧，所述除气腔体的左侧设有上下料拖车，所述上下料拖车上设有钢管托盘。

进一步的，所述除气腔体内部下方设有托盘支架。

进一步的，所述上下料拖车上放置钢管托盘位置的高度不低于托盘支架所在的高度。

进一步的，所述真空分子泵设有若干个。

进一步的，所述上下料拖车底部设有滚轮。

本实用新型的有益效果：能够实现中高温集热管内金属管的除气，使其达到真空度指标，满足中高温集热管内金属管镀膜的物理设计要求。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是根据本实用新型实施例所述一种中高温集管内金属管真空除气装备上料时结构示意图；

图2是根据本实用新型实施例所述一种中高温集管内金属管真空除气装备除气时的结构示意图；

图3是根据本实用新型实施例所述一种中高温集管内金属管真空除气装备下料时的结构示意图；

图4是根据本实用新型实施例所述一种中高温集管内金属管真空除气装备的正视图；

图5是根据本实用新型实施例所述除气腔体的左视图；

图6是根据本实用新型图5所述除气腔体A-A向剖视图。

图中：