[实用新型]一种硅棒加热装置有效
申请号: | 201721693279.1 | 申请日: | 2017-12-07 |
公开(公告)号: | CN207676885U | 公开(公告)日: | 2018-07-31 |
发明(设计)人: | 李飞龙;熊震;谷宁宁;李庆林;朱军;邢国强 | 申请(专利权)人: | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;阿特斯光伏电力(洛阳)有限公司;阿特斯阳光电力集团有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L31/18 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 胡彬 |
地址: | 215129 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 硅棒 阴极 阳极 夹紧组件 加热装置 电极 电源 传输组件 阳极连接 硅片 本实用新型 电阻均匀性 光伏行业 加热效率 均匀性好 切割过程 通电加热 温度分布 相对设置 相向运动 应力集中 热应力 崩边 抵接 电阻 加热 减小 传送 驱动 加工 | ||
1.一种硅棒加热装置,包括电源(1),其特征在于,还包括:
电极(2),所述电极(2)包括阴极(21)和阳极(22),且所述阴极(21)和所述阳极(22)相对设置,所述电源(1)分别与所述阴极(21)和阳极(22)连接;
传输组件,所述传输组件设置于所述阴极(21)和所述阳极(22)的下方,用于将硅棒(5)传送至所述阴极(21)和所述阳极(22)之间;及
夹紧组件(4),所述夹紧组件(4)分别与所述阴极(21)和所述阳极(22)连接,且所述夹紧组件(4)能够驱动所述阴极(21)和所述阳极(22)相向运动以与所述硅棒(5)抵接。
2.如权利要求1所述的硅棒加热装置,其特征在于,所述夹紧组件(4)包括相对设置于所述电极(2)外侧的液压缸(41)和固定板(42),所述阴极(21)和所述阳极(22)中的一个与所述固定板(42)连接,另一个与所述液压缸(41)的活塞杆连接。
3.如权利要求2所述的硅棒加热装置,其特征在于,所述夹紧组件(4)还包括:
弹性元件(43),所述弹性元件(43)的一端与所述固定板(42)连接,另一端与所述阴极(21)和所述阳极(22)中未连接所述液压缸(41)的一个连接。
4.如权利要求1所述的硅棒加热装置,其特征在于,所述阴极(21)和所述阳极(22)朝向所述硅棒(5)的端面均设置有石墨纸或导电胶层。
5.如权利要求1-4中任一项所述的硅棒加热装置,其特征在于,所述电极(2)的数量为多组,多组所述电极(2)沿所述传输组件的传送方向等间隔设置。
6.如权利要求5所述的硅棒加热装置,其特征在于,多组所述电极(2)共用同一个所述阴极(21)和/或同一个所述阳极(22)。
7.如权利要求5所述的硅棒加热装置,其特征在于,所述传输组件包括传送带(3),所述传送带(3)上等间隔设置有多个硅棒工位,每个所述硅棒工位与一组所述电极(2)对应设置。
8.如权利要求7所述的硅棒加热装置,其特征在于,所述传输组件还包括:
位置传感器,所述位置传感器包括接收端和发射端,所述接收端和所述发射端中,一个设置于所述传送带(3)上,另一个设置于所述传送带(3)旁;及
控制组件,所述控制组件与所述接收端电连接,所述控制组件与所述传送带(3)连接,当所述接收端与所述发射端相对时,所述硅棒工位与所述电极(2)相对设置,所述接收端向所述控制组件发送位置信号,所述控制组件根据所述位置信号控制所述传送带(3)停止工作。
9.如权利要求5所述的硅棒加热装置,其特征在于,所述电极(2)为石墨电极。
10.如权利要求5所述的硅棒加热装置,其特征在于,所述电源(1)为交变电源。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造