[实用新型]一种用于制备氧化物陶瓷靶材的复合式微波烧结装置

权利要求书

1.一种用于制备氧化物陶瓷靶材的复合式微波烧结装置，其特征在于，该烧结装置包括电加热控制系统(1)、微波加热控制系统(2)和烧结炉(3)，其中：

所述电加热控制系统(1)用于控制电加热过程；

所述微波加热控制系统(2)用于控制微波加热过程；

所述烧结炉(3)用于放置、烧结氧化物陶瓷靶材；

所述电加热控制系统(1)和所述微波加热控制系统(2)可以设置为同时工作，也可以设置为分时段工作。

2.根据权利要求1所述的复合式微波烧结装置，其特征在于，所述电加热控制系统(1)包括：

加热单元(11)，设置在烧结炉(3)中，用于利用电能加热烧结炉(3)；

温度传感单元(12)，用于感应烧结炉(3)中的温度；

温度记录单元(13)，与所述温度传感单元(12)连接，用于检测记录烧结炉中的温度；

程序控制单元(14)，与所述温度记录单元(13)相连接，用于控制加热温度、加热升温速度、温度保持时间、降温速度；

加热控制开关(15)，与所述程序控制单元(14)相连接，用于启动加热单元(11)的加热过程和终止加热过程；

真空控制单元(16)，包括真空泵(161)、真空控制按钮(162)和真空度检测仪(163)，其中：

所述真空泵(161)与所述烧结炉(3)相连通，用于为所述烧结炉(3)提供真空；

所述真空度检测仪(163)与烧结炉(3)相连接，用于检测烧结炉内的真空度；

所述真空控制按钮(162)与所述真空泵(161)和所述真空度检测仪(163)相连接，用于启动或停止真空泵。

3.根据权利要求1所述的复合式微波烧结装置，其特征在于，所述微波加热控制系统(2)包括：

微波发射器(21)，设置于烧结炉(3)上部；

微波控制单元(22)，与所述微波发射器(21)相连接，用于控制微波发射器(21)。

4.根据权利要求3所述的复合式微波烧结装置，其特征在于，所述微波发射器(21)设置为多个。

5.根据权利要求4所述的复合式微波烧结装置，其特征在于，所述多个微波发射器(21)相同。

6.根据权利要求1所述的复合式微波烧结装置，其特征在于，所述烧结炉(3)设置为多层结构。

7.根据权利要求6所述的复合式微波烧结装置，其特征在于，所述烧结炉(3)的多层结构包括从内到外依次设置的耐火层(31)、保温层(32)、防护层(33)和外部加强结构(34)。

8.根据权利要求6所述的复合式微波烧结装置，其特征在于，所述多层结构形成的烧结炉(3)的内膛为正方体形或长方体形。

9.根据权利要求1所述的复合式微波烧结装置，其特征在于，所述烧结装置还包括设置在烧结炉上的冷却单元(4)，用于对所述烧结炉降温冷却。

10.根据权利要求7所述的复合式微波烧结装置，其特征在于，所述耐火层(31)设置为由高纯氧化铝耐火砖构成的耐火层，所述保温层(32)设置为由高纯氧化铝泡沫砖构成的保温层，所述防护层(33)设置为由不锈钢板制成的防护层，所述外部加强结构(34)设置为位于烧结炉(3)底部的支撑结构。