[实用新型]一种提高压缩机滑片减摩耐磨性的薄膜有效
| 申请号： | 201721701090.2 | 申请日： | 2017-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN207632872U | 公开（公告）日： | 2018-07-20 |
| 发明（设计）人： | 文晓斌 | 申请（专利权）人： | 文晓斌 |
| 主分类号： | C23C14/02 | 分类号： | C23C14/02;C23C14/06;C23C14/35;C23C8/06;F04C29/00 |
| 代理公司： | 北京联创佳为专利事务所(普通合伙) 11362 | 代理人： | 郭防 |
| 地址： | 518116 广东省深圳市龙岗区中心*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 压缩机滑片 薄膜 耐磨性 过渡层 减摩 金属氮化物薄膜 本实用新型 低摩擦系数 金属碳化物 类石墨碳膜 耐腐蚀性能 高导电性 厚度均匀 金属单质 四层结构 第三层 第一层 高硬度 结合层 结合力 弧面 | ||
1.一种提高压缩机滑片减摩耐磨性的薄膜，位于压缩机滑片基体的弧面，其特征在于：所述的薄膜为四层结构，自所述压缩机滑片基体起，第一层是金属单质薄膜结合层，第二层是金属氮化物薄膜过渡层，第三层是金属碳化物薄膜过渡层，第四层为类石墨碳膜层。
2.根据权利要求1所述的提高压缩机滑片减摩耐磨性的薄膜，其特征在于，所述金属单质薄膜结合层是采用磁控溅射的方法通入氩气，氩气辉光放电，电离出氩离子在电场力的作用下轰击靶材，溅射靶材原子沉积在基体表面而制成。
3.根据权利要求1所述的提高压缩机滑片减摩耐磨性的薄膜，其特征在于，所述金属氮化物薄膜过渡层是采用磁控溅射方法获得的金属靶材原子与通入的氮气反应生成的氮化物沉积而制成。
4.根据权利要求1所述的提高压缩机滑片减摩耐磨性的薄膜，其特征在于，所述金属碳化物薄膜过渡层是采用磁控溅射方法获得的金属靶材原子与磁控溅射方法获得的石墨靶材原子反应沉积而制成。
5.根据权利要求1所述的提高压缩机滑片减摩耐磨性的薄膜，其特征在于，所述类石墨碳膜层是采用磁控溅射方法获得石墨靶材原子沉积而制成。
6.根据权利要求1～5任一所述的提高压缩机滑片减摩耐磨性的薄膜，其特征在于，所述金属单质薄膜结合层、所述金属氮化物薄膜过渡层和所述金属碳化物薄膜过渡层中的金属包括铬、钛、钨或银中的一种。
7.根据权利要求1～5任一所述的提高压缩机滑片减摩耐磨性的薄膜，其特征在于，所述压缩机滑片基体的材质包括高速钢、不锈钢或轴承钢。
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