[实用新型]一种用于电子辐照加速器的真空抽气装置有效
| 申请号： | 201721701998.3 | 申请日： | 2017-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN207475962U | 公开（公告）日： | 2018-06-08 |
| 发明（设计）人： | 邹伟权 | 申请（专利权）人： | 江门华大生物科技有限公司 |
| 主分类号： | H05H7/14 | 分类号： | H05H7/14 |
| 代理公司： | 广州胜沃园专利代理有限公司 44416 | 代理人： | 徐晶 |
| 地址： | 529000 广东省江门市江海区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电子加速器 真空室 电子辐照加速器 真空抽气装置 本实用新型 真空阀 抽真空 分子泵 离子泵 腔室 室内 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于电子辐照加速器的真空抽气装置，包括：分子泵、离子泵、真空室，其特征在于：所述真空室两侧通过管道分别连接第二真空阀和第三真空阀，其中第三真空阀与三通连接；所述第二真空阀前端设有四通；所述四通其中两个接口分别通过管道连接分子泵和离子泵；所述四通的剩余一个接口通过管道与第一真空阀连接，其中第一真空阀通过管道与三通连接；所述三通的另一个接口通过管道与电子加速器连接。
2.根据权利要求1所述的一种用于电子辐照加速器的真空抽气装置，其特征在于：所述真空室设有真空表。
3.根据权利要求2所述的一种用于电子辐照加速器的真空抽气装置，其特征在于：所述真空室内部竖直设有滤油网。
4.根据权利要求3所述的一种用于电子辐照加速器的真空抽气装置，其特征在于：所述真空室底部设有排污口。
5.根据权利要求4所述的一种用于电子辐照加速器的真空抽气装置，其特征在于：所述离子泵为三极溅射离子泵。
6.根据权利要求5所述的一种用于电子辐照加速器的真空抽气装置，其特征在于：真空室的容积大于电子加速器的体积。
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