[实用新型]蓝宝石晶体复检仪

说明书

蓝宝石晶体复检仪，包括X射线发生器、测角仪和闪烁探测器。测角仪回转轴上有开口向上的U型支架。U型支架右侧内有陶瓷板。U型支架左侧上部有压紧装置，压紧端朝向陶瓷板。压紧装置包括压紧杆和压紧弹簧，装设在U型支架左侧上部开的弹簧孔内，压紧杆右端作为压紧端从弹簧孔朝向陶瓷板伸出。还有紫外灯。陶瓷板内侧有横向的兜圈，兜圈下方有内外兜。工作平台有镊子。U型支架的顶部固定支杆，上有反光叶片。工作平台边缘有横向轴，通过轴承装设支撑环，支撑环上有多个横向的挂物杆。结构简单、占用空间小、使用方便、检测精度高，解决了蓝宝石晶体复检缺陷检测漏检率高、角度及晶向测量精度低的难题，配合辅助组件，更加方便。

技术领域

本实用新型属于蓝宝石晶体复检仪领域，特别是涉及蓝宝石晶体复检仪，应用X射线衍射原理，通过采用角度测定方式对蓝宝石单晶晶片进行晶体缺陷及晶向角度的复检。

背景技术

生长出来的蓝宝石单晶晶坨，先找出晶向，加工成规定的各种直径晶锭，再加工成晶片，加工后的蓝宝石单晶晶片，需要进行晶体缺陷及晶向角度的复检，在找出有缺陷的晶片同时进行晶片的晶向角度复核检验。

由于没有专门的蓝宝石晶体复检仪，传统的蓝宝石晶体复检，采用的是由工作台、上盖板、大型高压变压器、电器柜、测角仪等组成的蓝宝石单晶定向仪进行的，采用的方法是：通过定向仪X射线经蓝宝石单晶晶片反射后的信号，被金属管接收放大，直接在微安表找出X射线的峰值，判定蓝宝石单晶晶片的晶向角度正确性及晶体的晶格缺陷，但由于X光波无效波长干扰，晶体测量角度范围窄、缺陷检测漏检率高、角度及晶向测量精度低、复检工作效率低、耗电量高，无法满足蓝宝石单晶晶片材料晶向角度复检及晶体缺陷检测，满足不了各种高精度加工要求的蓝宝石单晶晶片材料生产的需要。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供蓝宝石晶体复检仪，具有结构简单、占用空间小、使用方便、蓝宝石晶片复检精度高等优点。

采用的技术方案是：

蓝宝石晶体复检仪，包括工作台上左侧设置的X射线发生器和右侧设有测角仪。

其技术要点在于：

测角仪回转轴上固定有开口向上的U型支架。U型支架的中间底部固定在测角仪回转轴上。

U型支架的右侧内侧固定有陶瓷板。

U型支架的左侧上部设有压紧装置，压紧装置的压紧端朝向陶瓷板。

测角仪上还设有闪烁探测器。

压紧装置包括压紧杆和压紧弹簧，装设在U型支架的左侧上部开设的弹簧孔内，压紧杆右端作为压紧端从弹簧孔朝向陶瓷板伸出。

还设有紫外灯。

U型支架的陶瓷板内侧固定有横向的兜圈，兜圈位于压紧装置的压紧端下方。兜圈下方有内兜和外兜。

在工作平台上开设有凹槽，凹槽内放置有镊子。

在U型支架的顶部固定支杆，支杆上固定多个叶片，叶片表面固定有反光层。

在工作平台边缘固定有横向轴，横向轴上通过轴承装设有支撑环，支撑环圆周上固定有多个横向的挂物杆。

其优点在于：

1、结构简单、占用空间小、使用方便、检测精度高，解决了蓝宝石晶体复检缺陷检测漏检率高、角度及晶向测量精度低的难题。

2、X光信号的峰值、半峰高等参数信号，由通讯接口传送至集控室集中进行数据处理，复检工作效率高。

3、压紧杆将待测晶片压紧在L型样品台工作表面上， X光下进行四方位反复定向测量，工作台360°旋转定向，待测晶片能达到测量精度，提高了待测晶片的定向检测精度。