[实用新型]一种混合等离激元波导布拉格光栅偏振滤波器

权利要求书

1.一种混合等离激元波导布拉格光栅偏振滤波器，其特征在于：所述的混合等离激元波导布拉格光栅偏振滤波器包括金属Ag层、高折射率材料Si层以及Ag层和Si层中间填充的低折射率介质层。

2.根据权利要求1所述的混合等离激元波导布拉格光栅偏振滤波器，其特征在于：所述金属Ag层厚度为100nm，高折射率材料Si层厚度为230nm，低折射率介质层厚度为50nm。

3.根据权利要求2所述的混合等离激元波导布拉格光栅偏振滤波器，其特征在于：所述低折射率层包括两端的导纳匹配区和中间的布拉格结构区。

4.根据权利要求3所述的混合等离激元波导布拉格光栅偏振滤波器，其特征在于：所述布拉格结构区由两种低折射率材料交替排列呈周期性结构，所述导纳匹配区采用一种低折射率材料，所述低折射率材料为TiO₂和SiO。

5.根据权利要求4所述的混合等离激元波导布拉格光栅偏振滤波器，其特征在于：所述布拉格结构区内两种低折射率材料交替排列周期长度为320nm，一个周期中两种材料的占空比为0.5:0.5，周期数为10.5；导纳匹配区位于光栅两端，由同种低折射率材料填充，导纳匹配区的长度为80nm或210nm。

6.根据权利要求5所述的混合等离激元波导布拉格光栅偏振滤波器，其特征在于：所述两种低折射率材料的长度根据布拉格反射条件在入射波长1550nm下求出。

7.根据权利要求1所述的混合等离激元波导布拉格光栅偏振滤波器，其特征在于：所述混合等离激元波导布拉格光栅能够实现在禁带1550nm的宽波段范围内TM模式的截至和TE模式的透射。