[实用新型]一种蓝宝石炉用磁流体密封装置有效
申请号: | 201721711698.3 | 申请日: | 2017-12-11 |
公开(公告)号: | CN208087785U | 公开(公告)日: | 2018-11-13 |
发明(设计)人: | 黄昌盛;徐美婷;楼允洪 | 申请(专利权)人: | 杭州维科磁电技术有限公司 |
主分类号: | C30B29/20 | 分类号: | C30B29/20;C30B35/00 |
代理公司: | 杭州浙科专利事务所(普通合伙) 33213 | 代理人: | 吴秉中 |
地址: | 310012 浙江省杭州市*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 蓝宝石 磁流体密封结构 磁流体密封装置 本实用新型 空心传动轴 拉伸轴 锁紧圈 炉用 悬臂 重载 蓝宝石晶体 旋转动密封 承重能力 壳体一端 配合连接 真空环境 高真空 装料量 端盖 壳体 炉内 腔壁 锁紧 零部件 体内 穿过 洁净 | ||
1.一种蓝宝石炉用磁流体密封装置,其特征在于包括与蓝宝石炉的腔壁连接的壳体(1)、与蓝宝石炉的拉伸轴配合连接的空心传动轴(2)、设置在壳体(1)一端的端盖(3)、锁紧圈(4),蓝宝石炉的拉伸轴穿过空心传动轴(2)后用锁紧圈(4)锁紧,所述壳体(1)内设置有悬臂重载结构及磁流体密封结构,所述悬臂重载结构包括与空心传动轴(2)紧配安装的配对轴承(5)、内挡圈(6)、外挡圈(7)、预紧螺母(8),所述配对轴承(5)以背靠背的方式安装,配对轴承(5)之间配置内挡圈(6)和外挡圈(7),所述配对轴承(5)为高精度配对角接触球轴承,精度等级为P4。
2.如权利要求1所述的一种蓝宝石炉用磁流体密封装置,其特征在于所述磁流体密封结构包括环形永磁铁(9)、两个磁极(10)、环形磁槽(11)及磁流体(12),所述环形磁槽(11)加工设置在空心传动轴(2)的外圆上,且对应磁极的位置设置,所述磁流体(12)设置在相邻两个环形磁槽(11)之间。
3.如权利要求2所述的一种蓝宝石炉用磁流体密封装置,其特征在于所述环形磁槽(11)与磁极(10)之间留有0.05mm的间隙。
4.如权利要求1所述的一种蓝宝石炉用磁流体密封装置,其特征在于所述壳体(1)为带BF法兰磁性绝缘壳体。
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