[实用新型]一种用于LCD生产的曝光及显影设备有效
| 申请号： | 201721713046.3 | 申请日： | 2017-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN207473298U | 公开（公告）日： | 2018-06-08 |
| 发明（设计）人： | 杨贵川;李星;禹建光 | 申请（专利权）人： | 四川华晶电子有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F7/30;G02F1/13 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 638000 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 传送带 显影液 玻璃板 喷头 紫外光照射 玻璃板架 电机驱动 曝光装置 显影设备 壳体 本实用新型 固定玻璃板 壳体入口端 质量均一性 玻璃板槽 顶部中心 壳体内壁 壳体内部 曝光工序 显影工序 曝光 驱动 光刻胶 紫外灯 传感器 工作台 穿设 喷涂 节约 生产 保证 | ||
1.一种用于LCD生产的曝光及显影设备，其特征在于，包括工作台（1）、曝光装置（2）、显影液箱（5），曝光装置（2）具有壳体（201），壳体（201）设于工作台（1）上，壳体（201）内壁顶部中心设有紫外灯（202），壳体（201）入口端顶部设有传感器（203），壳体（201）内部穿设通过第一驱动定电机（301）驱动的第一传送带（3），第一传送带（3）前端设有通过第二驱动定电机（401）驱动的第二传送带（4），第二传送带（4）上方设有多个与显影液箱（5）连接的喷头（501），第一传送带（3）与第二传送带（4）上放置有玻璃板架（7），玻璃板架（7）内有多个玻璃板槽（701），玻璃板架（7）上套接有带镂孔（702）的光刻掩模板（703）。
2.根据权利要求1所述的用于LCD生产的曝光及显影设备，其特征在于，所述第一传送带（3）的第一从动辊（302）两端与第二传送带（4）的第二从动辊（402）两端分别轴动连接于两块限位板（6），限位板（6）固定于工作台（1）上。
3.根据权利要求1所述的用于LCD生产的曝光及显影设备，其特征在于，所述第一传送带（3）套在第一驱动定电机（301）的第一传动轴（303）上，第二传送带（4）套在第二驱动定电机（401）的第二传动轴（403）上，且第一从动辊（302）的直径为第一传动轴（303）直径的五分之一，第二从动辊（402）的直径为第二传动轴（403）直径的五分之一。
4.根据权利要求1所述的用于LCD生产的曝光及显影设备，其特征在于，所述传感器（203）与紫外灯（202）的控制器连接。
5.根据权利要求1所述的用于LCD生产的曝光及显影设备，其特征在于，所述显影液箱（5）上设有时间控制器（502）。
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