[实用新型]一种六硼化镧冷阴极潘宁离子源装置

权利要求书

1.一种六硼化镧冷阴极潘宁离子源装置，其特征在于：包括阴极底座(1)、阴极(2)、阳极(3)、对阴极(5)、第一绝缘陶瓷(6)和第二绝缘陶瓷(7)；

所述阴极底座(1)为圆柱凸台结构，所述阴极底座(1)上设有阴极液冷管道(9)；

所述阴极(2)为圆柱型结构，阴极(2)一端面开有安装孔，所述安装孔与阴极底座(1)上的凸台相配合；

所述阳极(3)包括空心圆台(31)、第一空心圆柱(32)和第二空心圆柱(33)，空心圆台(31)两端分别与第一空心圆柱(32)和第二空心圆柱(33)连接；所述第一空心圆柱(32)内侧通过第一绝缘陶瓷(6)与阴极底座(1)的侧面连接，第一绝缘陶瓷(6)上设有进气口(8)；第二空心圆柱(33)内侧通过第二绝缘陶瓷(7)与对阴极(5)连接；

所述阳极(3)内设有阳极液冷管道(10)；

所述阴极底座(1)、阳极(3)、对阴极(5)、第一绝缘陶瓷(6)以及第二绝缘陶瓷(7)的连接构成放电室(4)，且阴极(2)位于放电室(4)内。

2.根据权利要求1所述的一种六硼化镧冷阴极潘宁离子源装置，其特征在于：所述阴极底座(1)下端面周侧沿圆周分布四个螺栓孔(11)。

3.根据权利要求1所述的一种六硼化镧冷阴极潘宁离子源装置，其特征在于：所述空心圆台(31)、第一空心圆柱(32)和第二空心圆柱(33)为一体化结构。

4.根据权利要求1所述的一种六硼化镧冷阴极潘宁离子源装置，其特征在于：所述空心圆台(31)的两端半径尺寸分别与两空心圆柱的半径尺寸相同，且第一空心圆柱(32)的半径尺寸大于第二空心圆柱(33)的半径尺寸。

5.根据权利要求1所述的一种六硼化镧冷阴极潘宁离子源装置，其特征在于：所述阴极液冷管道(9)和阳极液冷管道(10)内均通入去离子水。