[实用新型]一种湿法磷酸槽清洗装置有效
| 申请号： | 201721721522.6 | 申请日： | 2017-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN207929696U | 公开（公告）日： | 2018-10-02 |
| 发明（设计）人： | 崔亚东;张文福;高英哲 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | B08B9/032 | 分类号： | B08B9/032;B08B9/093 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 223300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 湿法磷酸 清洗 进液设备 清洗装置 过滤芯 槽体 本实用新型 芯片成品率 排液设备 清洗溶液 氟化氢 洁净度 磷酸槽 拆卸 制备 净化 | ||
1.一种湿法磷酸槽清洗装置，其特征在于，包括：湿法磷酸槽、管路、清洗进液设备及清洗排液设备，其中：
所述湿法磷酸槽包含槽体及连接于所述槽体的槽进口及槽出口；
所述管路包含第一端及第二端，所述第一端连接于所述槽出口，所述第二端连接于所述槽进口，所述管路自所述第一端至所述第二端依次连接有泵、加热器及过滤芯；
所述清洗进液设备包括第一单向阀，所述第一单向阀连接于所述管路，用以向所述管路提供清洗液；
所述清洗排液设备包括第二单向阀，所述第二单向阀连接于所述管路，用以排出所述管路内的所述清洗液。
2.根据权利要求1所述的湿法磷酸槽清洗装置，其特征在于：所述清洗进液设备还包括贮存部、进液管及动力股入部；所述进液管连接所述贮存部及所述动力股入部，所述动力股入部通过所述进液管连接所述第一单向阀，所述进液管包括聚四氟乙烯软管。
3.根据权利要求2所述的湿法磷酸槽清洗装置，其特征在于：所述动力股入部包括磁力泵。
4.根据权利要求1所述的湿法磷酸槽清洗装置，其特征在于：所述清洗排液设备还包括连接于所述第二单向阀的排液管，所述排液管包括聚四氟乙烯软管。
5.根据权利要求1所述的湿法磷酸槽清洗装置，其特征在于：所述清洗液包括氟化氢溶液。
6.根据权利要求1所述的湿法磷酸槽清洗装置，其特征在于：还包括回收部，所述回收部连接于所述清洗排液设备。
7.根据权利要求6所述的湿法磷酸槽清洗装置，其特征在于：所述回收部还连接于所述清洗进液设备。
8.根据权利要求6所述的湿法磷酸槽清洗装置，其特征在于：所述回收部连接有浓度检测部，用以检测所述回收部中的溶液浓度。
9.根据权利要求1所述的湿法磷酸槽清洗装置，其特征在于：所述第一单向阀及所述第二单向阀包括旋启式单向阀和升降式单向阀中的一种或组合。
10.根据权利要求1所述的湿法磷酸槽清洗装置，其特征在于：所述第一单向阀位于所述过滤芯与所述槽进口之间，所述第二单向阀位于所述泵与所述加热器之间。
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