[实用新型]一种金属多面扫描棱镜的在线检测装置

权利要求书

1.一种金属多面扫描棱镜的在线检测装置，包括电控转台支架、安装在电控转台支架上的电控转台、电控转台的转轴、设置于所述转轴上的用于装夹待加工金属多面扫描棱镜镜胚的夹持部，其特征在于：还包括精度优于金属多面扫描棱镜的设计参数的多面棱镜标准块、自准直定位光路，自准直检测光路；所述的多面棱镜标准块固定在电控转台的转轴上，多面棱镜标准块上各个侧面的法线方向与电控转台的转轴垂直；所述的自准直定位光路设置在电控转台支架上，且自准直定位光路发出的入射光与多面棱镜标准块的的横截面法线方向垂直；所述的自准直检测光路设置在电控转台支架上，且自准直检测光路发出的入射光与电控转台的转轴轴线垂直。

2.根据权利要求1所述的一种金属多面扫描棱镜的在线检测装置，其特征在于：还包括锁止机构，该锁止机构安装在电控转台支架上，用于锁紧电控转台的转轴。

3.根据权利要求2所述的一种金属多面扫描棱镜的在线检测装置，其特征在于：所述的多面棱镜标准块为玻璃多面棱镜标准块。

4.根据权利要求1所述的一种金属多面扫描棱镜的在线检测装置，其特征在于：多面棱镜标准块上设置通孔，该多面棱镜标准块上的通孔与电控转台的转轴同轴的方式装配固定。

5.根据权利要求4所述的一种金属多面扫描棱镜的在线检测装置，其特征在于：所述的自准直定位光路为自准直平行光管。

6.根据权利要求1～5之一所述的一种金属多面扫描棱镜的在线检测装置，其特征在于：所述的自准直定位光路由平行光激光器、扩束镜、分光镜、平面反射镜、像屏组成，其中平行光激光器射出的平行光经过扩束后入射至分光镜，分光镜反射的光作为参考光被垂直放置于光路中的平面反射镜反射后入射至像屏，分光镜透射的光作为检测光垂直入射至所述多面棱镜标准块的任意一个侧面；检测光被该侧面反射至像屏，在像屏上形成干涉条纹。

7.根据权利要求6所述的一种金属多面扫描棱镜的在线检测装置，其特征在于：用CCD替换像屏，CCD所拍摄的干涉条纹图像通过数据线传输至监视器。

8.根据权利要求1～5之一所述的一种金属多面扫描棱镜的在线检测装置，其特征在于：所述的电控转台的转轴通过联动机构与若干根从动转轴连接，每一根从动转轴上都安装有若干个用于装夹待加工金属多面扫描棱镜镜胚的夹持部，当电控转台的转轴旋转时，所述的从动转轴也旋转相同角度。

9.根据权利要求1～5之一所述的一种金属多面扫描棱镜的在线检测装置，其特征在于：所述的自准直检测光路由平行光激光器、与所述平行光激光器发出的平行光垂直放置的标尺组成，多面棱镜标准块的第一个侧面对准所述自准直定位光路，以待加工金属多面扫描棱镜的第一扫描面为自准直检测光基准面，平行光激光器发出的入射光对准所述的自准直检测光基准面。

10.根据权利要求9所述的一种金属多面扫描棱镜的在线检测装置，其特征在于：平行光激光器发出的入射光对准所述的自准直检测光基准面，反射光在标尺上的位置为基准位置，自准直定位光路对准多面棱镜标准块的其他侧面时，自准直检测光路的反射光在标尺上的位置与所述基准位置的偏离量为h，标尺与被测扫描面之间的距离L,被测扫描面的反射光与入射光之间的角度β＝arcsin(h/L),金属多面扫描棱镜的被测扫描面与第一扫描面之间的角度偏差为β/2。