[实用新型]石墨盖板及应用该石墨盖板的多晶铸锭炉

权利要求书

1.一种石墨盖板，应用于多晶铸锭炉中，所述多晶铸锭炉包括炉体、设于所述炉体内部的隔热笼、设于所述隔热笼内的石英坩埚、以及穿设于所述炉体、所述隔热笼的石墨导气管，所述石墨盖板设于所述石英坩埚的顶端，其特征在于，所述石墨导气管的出气口与所述石墨盖板相抵触，所述石墨盖板包括与所述石墨导气管的出气口相抵触的第一区域、以及设于所述第一区域外周的第二区域，所述第二区域的厚度大于所述第一区域的厚度，所述第一区域内设有一第一螺旋孔、以及设于所述第一螺旋孔外围且旋向相同的多个第二螺旋孔，各个所述第二螺旋孔绕所述第一螺旋孔的中心轴线环形阵列排布。

2.根据权利要求1所述的石墨盖板，其特征在于，所述第一区域的大小与所述石墨导气管的出气口的大小相同，所述第一螺旋孔的孔径大于所述第二螺旋孔的孔径。

3.根据权利要求1所述的石墨盖板，其特征在于，所述第二螺旋孔在靠近所述石墨导气管的出气口的端面与所述石英坩埚之间的距离大于所述第二螺旋孔在远离所述石墨导气管的出气口的端面与所述石英坩埚之间的距离。

4.根据权利要求1所述的石墨盖板，其特征在于，所述第二区域具有沿其径向向外的逐步增加的环形台阶面。

5.根据权利要求1所述的石墨盖板，其特征在于，所述第二区域的厚度沿其径向向外逐渐增加。

6.根据权利要求1所述的石墨盖板，其特征在于，所述第一螺旋孔的孔径为40-60mm，所述第二螺旋孔的数量为4-10个，所述石墨盖板的厚度为5-15mm。

7.一种多晶铸锭炉，包括炉体，设于所述炉体内部的隔热笼，设于所述隔热笼内的顶加热器、侧加热器、石英坩埚、石墨护板、石墨底板、热交换块，依次穿设所述炉体、所述隔热笼以及所述顶加热器的石墨导气管，以及穿设所述隔热笼的底部且分别与所述炉体的内壁和所述热交换块连接的支撑腿，所述隔热笼分别由设于底部的底部保温板、设于所述底部保温板侧边的侧保温板、以及设于顶部且与所述侧保温板连接的顶部保温板，其特征在于，所述多晶铸锭炉还包括如权利要求1-6任意一项所述的石墨盖板，所述石墨盖板设于所述隔热笼内，且设于所述石英坩埚的顶端。

8.根据权利要求7所述的多晶铸锭炉，其特征在于，所述石墨护板设于所述石英坩埚的外侧壁，所述石墨底板设于所述石英坩埚的底壁，所述石墨底板的底部设有所述热交换块，所述热交换块的底壁与所述支撑腿连接，所述顶加热器顶端的上部还设有一第一热电偶，所述热交换块内还设有一第二热电偶，所述第一热电偶依次穿设所述顶部保温板、所述炉体的顶部与设于所述炉体外部的第一设备连接，所述第二热电偶依次穿设所述底部保温板、所述炉体的底部与设于所述炉体外部的第二设备连接。

9.根据权利要求7所述的多晶铸锭炉，其特征在于，所述石墨导气管依次穿设所述炉体的顶壁、所述顶部保温板、以及所述顶加热器，且所述石墨导气管的底部出气口与所述石墨盖板相抵触，所述石墨导气管的顶部进气口处设有控制阀门。