[实用新型]一种液态金属RF MEMS开关有效
| 申请号： | 201721727758.0 | 申请日： | 2017-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN207602455U | 公开（公告）日： | 2018-07-10 |
| 发明（设计）人： | 刘婷婷;杨涛;韩宾;高杨 | 申请（专利权）人： | 西南科技大学 |
| 主分类号： | H01H29/06 | 分类号： | H01H29/06;H01H29/02 |
| 代理公司： | 成都正华专利代理事务所(普通合伙) 51229 | 代理人： | 李蕊 |
| 地址： | 621010 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 液态金属 疏水层 底部支撑件 顶部盖板 下介电层 依次层叠 基底 传输线 本实用新型 工作效率高 活动设置 驱动电极 上介电层 使用寿命 电极 盖板 传统的 限位块 磨损 替代 | ||
【权利要求书】：
1.一种液态金属RF MEMS开关，其特征在于，包括具有间隙的底部支撑件和顶部盖板；所述顶部盖板由上至下依次层叠设置有盖板(7)、上电极(11)上介电层(6)以及上疏水层(5)；所述底部支撑件由上至下依次层叠设置有下疏水层(3)、下介电层(2)以及基底(1)；所述上疏水层(5)和下疏水层(3)之间活动设置有同时与两者接触的液态金属(8)，并在下疏水层(3)上设置有将液态金属(8)囊括的限位块(4)；所述下介电层(2)和基底(1)之间设置有具有间隙的传输线(9)和驱动电极(10)。
2.根据权利要求1所述的液态金属RF MEMS开关，其特征在于，所述液态金属(8)材质为常温下呈液态的金属材料。
3.根据权利要求1所述的液态金属RF MEMS开关，其特征在于，所述传输线(9)为CPW传输线，包括两根地线以及设置于地线之间的信号线；所述信号线与地线之间均具有间隙。
4.根据权利要求1所述的液态金属RF MEMS开关，其特征在于，所述基底(1)为硅基底。
5.根据权利要求1所述的液态金属RF MEMS开关，其特征在于，所述上介电层(6)和下介电层(2)材质均为二氧化硅。
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