[实用新型]一种基于光程补偿技术的激光测量装置

权利要求书

1.一种基于光程补偿技术的激光测量装置，其特征在于：所述装置包括激光器、分光棱镜、二分之一波片、四分之一波片、反射镜、液晶体、压电陶瓷、压电陶瓷驱动器、控制器、平衡探测器和信号处理器；

所述反射镜包括安装在第一压电陶瓷上的第一反射镜、安装于液晶体两表面的第二反射镜和第三反射镜、安装在第二压电陶瓷上的第四反射镜；所述第一反射镜的表面与第一分光棱镜的分光面平行，所述第二反射镜和第三反射镜为两个对向设置的反射镜，保证光束进入后可在其内进行来回多次反射；

所述第四反射镜表面于所述第一反射镜表面相互垂直；

所述分光棱镜包括第一分光棱镜和第二分光棱镜，所述第一分光棱镜设置于所述激光器的左方并与所述激光器处于同水平线上；所述第二分光棱镜设置于上述二分之一波片的下方，四分之一波片的上方；

所述二分之一波片设置于所述第一分光棱镜的下方，将接收线偏振光的偏振方向旋转90°；

所述四分之一波片设置于所述第二分光棱镜的下方，将接收到的线偏振光转换为圆偏振光；

所述平衡探测器安装于所述第二分光棱镜和第四反射镜之间且处于同一水平线，接收所述第二分光棱镜和第四反射镜的反射光束，并输出信号至信号处理器。

2.根据权利要求 1 所述的一种基于光程补偿技术的激光测量装置，其特征在于，所述的激光器为窄线宽保偏及稳频激光器，线宽小于 3kHz。

3.根据权利要求 1 所述的一种基于光程补偿技术的激光测量装置，其特征在于，所述的分光棱镜为偏振分光棱镜，透射参数|Tp-Ts|>99%，反射参数|Rs-Rp|>99%，所述分光棱镜与所述激光器输出的探测光束线路成 45°夹角。

4.根据权利要求 1 所述的一种基于光程补偿技术的激光测量装置，其特征在于，所述反射镜要求其面型精度 RMS 值小于λ/50，反射率大于 98%。

5.根据权利要求 1 所述的一种基于光程补偿技术的激光测量装置，其特征在于，所述压电陶瓷包括第一压电陶瓷和第二压电陶瓷；所述压电陶瓷的闭环摆角范围不小于20mrad，闭环角度分辨率不大于 10μrad。

6.根据权利要求 1 或 5 所述的一种基于光程补偿技术的激光测量装置，其特征在于，所述控制器电连接至所述压电陶瓷驱动器和液晶体，所述第一压电陶瓷和第二压电陶瓷电连接至所述压电陶瓷驱动器。