[实用新型]一种检漏负压调整装置有效
| 申请号： | 201721740823.3 | 申请日： | 2017-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN207515875U | 公开（公告）日： | 2018-06-19 |
| 发明（设计）人： | 景亮;罗乾又 | 申请（专利权）人： | 四川福德机器人股份有限公司 |
| 主分类号： | G01F25/00 | 分类号： | G01F25/00;G01M3/26 |
| 代理公司： | 北京远大卓悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11369 | 代理人： | 郑健 |
| 地址： | 621000 四川省*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 负压产生单元 本实用新型 调整装置 主控单元 负压 检漏 检测 自动控制与调节 封闭状态 检漏装置 通信连接 进气量 连通 | ||
1.一种检漏负压调整装置，其特征在于，包括：
主控单元；
负压产生单元，其通信连接至所述主控单元；
以及至少一路与所述负压产生单元连通、以构成封闭状态的检测单元。
2.如权利要求1所述的一种检漏负压调整装置，其特征在于，所述负压产生单元包括：
一真空发生器；
以及设置在所述真空发生器进气端与出气端的第一球阀和第二球阀；
所述第一球阀的一端还设置有第一电磁阀，以控制工作气体的通断。
3.如权利要求1所述的一种检漏负压调整装置，其特征在于，所述检测单元被设置为2路，分别为第一检测单元与第二检测单元。
4.如权利要求3所述的一种检漏负压调整装置，其特征在于，所述第一检测单元包括：
第二电磁阀与第三电磁阀，所述第二电磁阀与第三电磁阀的一端均连接至真空发生器，另一端均连接至待检测腔室；
以及设置于真空发生器与第二电磁阀、第三电磁阀之间的第四电磁阀。
5.如权利要求3所述的一种检漏负压调整装置，其特征在于，所述第一检测单元还包括：
设置于第二电磁阀、第三电磁阀与第四电磁阀之间的第一传感器以及第五电磁阀。
6.如权利要求3所述的一种检漏负压调整装置，其特征在于，所述第二检测单元包括：
第六电磁阀与第七电磁阀，所述第六电磁阀与第七电磁阀的一端均连接至真空发生器，另一端均连接至待检测腔室；
以及设置于真空发生器与第六电磁阀、第七电磁阀之间的第八电磁阀。
7.如权利要求3所述的一种检漏负压调整装置，其特征在于，所述第二检测单元还包括：
设置于第六电磁阀、第七电磁阀与第八电磁阀之间的第二传感器以及第九电磁阀。
8.如权利要求1所述的一种检漏负压调整装置，其特征在于，所述主控单元被设置为STM32F103型ARM处理器。
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